[发明专利]局部洁净区形成装置

权利要求书

1.一种局部洁净区形成装置，具有如下的结构：

将用于形成等速空气流的整流机构内设在空气吹出面内而形成的一对吹风罩配置为：彼此的该空气吹出面之间平行且该空气吹出面的中心之间不是正对关系，以使由该吹风罩吹出的等速空气流之间相对而冲突，同时，将该等速空气流在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而吹出。

2.如权利要求1所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构由至少一个蜂窝形并列多孔体和至少一个空气阻挡体构成，该蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而排列。

3.如权利要求2所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构的蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的水平斜向上以角度而排列。

4.如权利要求3所述的局部洁净区形成装置，其特征在于，在从顶面方向观察该吹风罩时，形成该吹风罩的外观形状的壳体的与具有该空气吹出面的壳体面的边界相接的2个侧面中的至少任一侧面，与相对于该空气吹出面在水平斜向吹出的等速空气流的角度平行。

5.如权利要求4所述的局部洁净区形成装置，其特征在于，在从顶面方向观察该吹风罩时，该吹风罩的形成该吹风罩的外观形状的壳体的具有该空气吹出面的面与和边界相接的侧面所成的角度是钝角，且该侧面与在相对于该空气吹出面的水平斜向上吹出的等速空气流的角度平行，在该吹风罩中，从形成该钝角的侧面的吹风罩内的空气吹出面直至与该空气吹出面相对的另一侧的背面侧壳体，且在从该空气吹出面的上端直至下端的纵向上，内设遮蔽板。

6.如权利要求1～5任一项所述的局部洁净区形成装置，其中，与在该一对吹风罩的空气吹出面之间所形成的洁净区的气流方向相平行的洁净区的边界面全部为开放状态。