[发明专利]扫描显微镜和用于光学扫描一个或多个样本的方法

权利要求书

1.扫描显微镜形式的装置，具有

发射照明光束（32）的光源（42），

将所述照明光束（32）聚焦到样本（36）的待检查区域上的聚焦光学系统（34），

并且具有致动器装置，该致动器装置根据预定扫描模型垂直于照明光束（32）的中轴在照明光束（32）的参考位置上移动所述聚焦光学系统（34）。

2.用于显微镜的结构单元形式的装置，具有

外壳（22），

聚焦光学系统（34），该聚焦光学系统设置在所述外壳（22）中并且在期望使用时将照明光束（32）聚焦到样本（36）的待检查区域上，

并且具有致动器装置，该致动器装置相对于所述外壳（22）移动所述聚焦光学系统（34）。

3.按照权利要求1或2所述的装置，该装置包括准直光学系统，该准直光学系统准直所述照明光束（32），并且其中所述致动器装置根据所述预定扫描模型垂直于准直的照明光束（32）的中轴移动所述聚焦光学系统（34）。

4.按照前述权利要求之一所述的装置，其中所述致动器装置在第一空间方向（x）和第二空间方向（y）上垂直于照明光束（32）的中轴移动所述聚焦光学系统（34）和/或其中所述致动器装置在第三空间方向（z）上沿照明光束（32）的中轴移动所述聚焦光学系统（34）。

5.按照前述权利要求之一所述的装置，其中准直的照明光束（32）的投影与所述聚焦光学系统（34）的光学有效平面完全重叠。

6.按照权利要求5所述的装置，其中准直的照明光束（32）的投影与所述聚焦光学系统（34）的光学有效平面在所述聚焦光学系统（34）的不同位置上完全重叠，所述位置为所述聚焦光学系统（34）根据所述预定扫描模型采用。

7.按照前述权利要求之一所述的装置，其中所述聚焦光学系统（34）通过支撑体（26）与所述致动器装置连接，并且其中所述支撑体（26）包括光圈，该光圈遮住所述照明光束（32）的一部分。

8.按照前述权利要求之一所述的装置，具有前玻璃，该前玻璃设置在所述聚焦光学系统（34）和样本（36）之间并且相对于可动的聚焦光学系统（34）位置固定地设置。

9.按照前述权利要求之一所述的装置，具有不透光的隔层，该隔层保护所述照明光束（32）和/或所述聚焦光学系统（34）免受环境光干扰。

10.按照前述权利要求之一所述的装置，其中所述聚焦光学系统（34）或所述支撑体（26）通过至少一个保持元件（30）与所述外壳（22）可运动地连接。

11.按照前述权利要求之一所述的装置，该装置包括图像生成单元（94），该图像生成单元连接探测器（52）以探测由所述样本（36）发出的探测光束（46），并且将多个待检查区域的图像数据合成为总图像。

12.用于光学扫描一个或多个样本（36）的装置，

具有按照前述权利要求之一所述的装置，

基体（82），该基体具有样本平面用于接收所述一个或多个样本（36），

其中所述结构单元至少可动设置在平行于所述样本平面的平面内。

13.用于光学扫描样本（36）的方法，其中

利用光源（42）产生照明光束（32），所述照明光束（32）穿过聚焦光学系统（34）被聚焦到所述样本（36）的待检查区域上，并且其中所述聚焦光学系统（34）借助于致动器根据预定扫描模型垂直于所述照明光束（32）的中轴在所述照明光束（32）的参考位置上移动。

14.按照权利要求13所述的方法，其中所述照明光束（32）由准直光学系统准直并且其中准直的照明光束（32）被定向到所述聚焦光学系统（34）。

15.按照权利要求13或14所述的方法，其中所述聚焦光学系统（34）根据预定扫描模型在两个空间方向（x，y）或三个空间方向（x，y，z）上移动。

16.按照权利要求14或15所述的方法，其中利用准直的照明光束（32）照明所述聚焦光学系统（34）的整个光学有效平面。