[发明专利]氧化铜用蚀刻液以及使用其的蚀刻方法

权利要求书

1.一种氧化铜用蚀刻液，其用于选择性蚀刻以铜的氧化物为主成分的氧化铜含有层中的氧化数不同的氧化铜，其特征在于，至少含有螯合剂或其盐。

2.根据权利要求1所述的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，所述螯合剂含有选自：作为氨基酸的丙氨酸、精氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、半胱氨酸、谷氨酰胺、谷氨酸、甘氨酸、组氨酸、异亮氨酸、亮氨酸、赖氨酸、甲硫氨酸、鸟氨酸、苯丙氨酸、丝氨酸、苏氨酸、色氨酸、酪氨酸、缬氨酸、脯氨酸，以及作为其他的螯合剂的草酸、乙二胺四乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、二羟乙基乙二胺二乙酸、1,3-丙二胺四乙酸、柠檬酸、富马酸、己二酸、琥珀酸、苹果酸、酒石酸、浴铜灵磺酸，以及它们的盐所组成的群中的至少一种。

3.根据权利要求1或者权利要求2所述的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，所述螯合剂含有至少一种所述氨基酸。

4.根据权利要求3所述的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，所述氨基酸含有选自甘氨酸、丙氨酸、鸟氨酸以及赖氨酸所组成的群中的至少一种。

5.根据权利要求1至权利要求4中的任意一项所述的氧化铜用蚀刻液，其特征在于，所述螯合剂在氧化铜用蚀刻液中的比例为0.00001质量%以上、10质量%以下。

6.一种蚀刻方法，其是使用权利要求1至权利要求5中任意一项所述的氧化铜用蚀刻液的蚀刻方法，其特征在于，包括热分解工序，即热分解含有铜的氧化物的氧化铜含有层的规定区域的铜的氧化物，与蚀刻工序，即向所述氧化铜含有层供给所述氧化铜用蚀刻液，从所述氧化铜含有层中除去被热分解的规定区域的铜的氧化物。

7.根据权利要求6所述的蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻工序中，所述氧化铜用蚀刻液作用时的液体排出压是0.005MPa以上、0.15MPa以下。