[发明专利]用于汽相淀积源的加热系统

权利要求书

1.汽相材料淀积源（10），该汽相材料淀积源包括配备有两个区域的容器：

蒸汽产生区域（20），该蒸汽产生区域配备有材料接收器和用于加热放置在接收器（21）中的该材料的装置；

与所述蒸汽产生区域连通的腔部（50），该腔部配备有至少一个孔（30），以便使得汽相材料通过所述孔（30）朝着所述容器的外部传送；

其特征在于，一方面，所述腔部（50）包括内部壁（52）和外壳（60），所述内部壁和所述外壳定义了充注有传热液体（25）的中间空间，另一方面，所述汽相材料淀积源配备有用于加热传热液体（25）的装置。

2.如权利要求1所述的淀积源，其中，用于加热传热液体（25）的装置包括至少一个完全地或部分地接触所述腔部（50）的所述外壳（60）的电阻（41）。

3.如权利要求2所述的淀积源，其中，所述电阻（41）接触所述腔部（50）的所述外壳（60）的外表面。

4.如权利要求1、2或3所述的淀积源，其中，用于加热传热液体（25）的装置包括至少一个完全地或部分地放置在中间空间中的电阻（41）。

5.如前述权利要求所述的淀积源，其中，所述电阻（41）接触所述内部壁（52）的外表面。

6.如这些前述权利要求中的任一个所述的淀积源，其中，用于加热传热液体的装置包括位于所述腔部外面的用于加热传热液体（25）的设备以及用于使传热液体在所述用于加热传热液体的设备和所述中间空间之间循环的装置。

7.如权利要求4-6中任一所述的淀积源，其中，所述内部壁（52）的热传导率大于所述外壳（60）的热传导率。

8.如前述权利要求中的任一个所述的淀积源，其中，所述接收器（21）包括内部壁和外壳（29），所述接收器的该内部壁和外壳（29）定义了充注有传热液体（25）的第二中间空间。

9.如前述权利要求所述的淀积源，其中，用于加热所述接收器（21）的装置包括至少一个完全地或部分地接触所述接收器的外壳（29）的电阻（27）。

10.如权利要求8或9所述的淀积源，其中，用于加热所述接收器（21）的装置包括至少一个完全地或部分地位于所述第二中间空间中的电阻（27）。

11.如权利要求8-10之一所述的淀积源，其中，用于加热所述接收器（21）的装置包括位于所述接收器（21）外面的用于加热传热液体（25）的设备以及用于使传热液体（25）在所述用于加热传热液体的设备和所述第二中间空间之间循环的装置。

12.如权利要求10或11所述的淀积源，其中，所述接收器（21）的内部壁的热传导率大于所述接收器（21）的外壳（29）的热传导率。

13.如前述权利要求之一所述的淀积源，其中，所述接收器（21）包括设置在该接收器的内表面上的与所述材料接触的一个或更多个翅片（22）。

14.如前述权利要求中任一所述的淀积源，其中，所述至少一个孔（30）具有横跨所述中间空间的喷嘴。

15.如前述权利要求中任一所述的淀积源，其中，所述中间空间环绕所述腔部（50）的所述内部壁（52）的整个外表面。

16.如上述权利要求中任一所述的淀积源，其中，所述蒸汽产生区域（20）和所述腔部（50）以直角连接。

17.如前述权利要求所述的淀积源，其中，所述蒸汽产生区域（20）在所述腔部（50）的宽度上居中设置。

18.如前述权利要求中任一所述的淀积源，该汽相材料淀积源包括位于至少一个孔（30）处的局部加热装置。

19.如前述权利要求所述的淀积源，其中，所述局部加热装置包括：对每个所述的孔（30）而言，在所述的孔（30）的外周壁周围的细丝（31）。

20.如前述权利要求所述的淀积源，其中，细丝（31）位于所述中间空间的外面。

21.如权利要求19所述的淀积源，其中，细丝（31）位于所述中间空间中。