[发明专利]气体浓度计算装置、气体浓度测量模块、及光检测器无效
申请号: | 201180009777.9 | 申请日: | 2011-02-14 |
公开(公告)号: | CN102762975A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 井泽利之;山本晃永 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N21/61 | 分类号: | G01N21/61;G01N21/35 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 浓度 计算 装置 测量 模块 检测器 | ||
1.一种气体浓度计算装置,其特征在于,
其是具备气体浓度测量模块及气体浓度计算模块且计算对象气体的浓度的气体浓度计算装置,
所述气体浓度测量模块具备:
气室,其形成导入所述对象气体的导入空间;
光源,其配置于所述气室的一端;
信号光接收单元及参照光接收单元,其配置于所述气室的另一端,且接收自所述光源放射的光;及
不活泼气体室,其配置于所述导入空间内的所述光源与所述参照光接收单元之间的光路中,且封入有相对于自所述光源放射的光而言不活泼的不活泼气体,
所述气体浓度计算模块基于所述气体浓度测量模块的所述信号光接收单元所接收的所述光的能量值与所述参照光接收单元所接收的所述光的能量值的比来计算所述对象气体的所述浓度。
2.如权利要求1所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
所述不活泼气体为包含氩、氙、氮中的至少任意一种的气体。
3.一种气体浓度计算装置,其特征在于,
其是具备气体浓度测量模块及气体浓度计算模块且计算对象气体的浓度的气体浓度计算装置,
所述气体浓度测量模块具备:
气室,其形成导入所述对象气体的导入空间;
光源,其配置于所述气室的一端;及
信号光接收单元及参照光接收单元,其在所述气室的另一端侧接收自所述光源放射的光,且配置于自所述光源放射的光穿过所述导入空间内的距离不同的位置,
所述气体浓度计算模块基于所述气体浓度测量模块的所述信号光接收单元所接收的所述光的能量值与所述参照光接收单元所接收的所述光的能量值的比来计算所述对象气体的所述浓度。
4.如权利要求1至3中任一项所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
进一步具备带通滤波器,该带通滤波器配置于所述光源与所述受光单元之间的光路上,且仅使规定波长的光通过。
5.如权利要求1至4中任一项所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
所述光源为放射红外线的光源。
6.如权利要求1至5中任一项所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
所述对象气体为二氧化碳。
7.如权利要求1至6中任一项所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
进一步具备储存单元,该储存单元预先储存表示所述对象气体的所述浓度与所述比的相关关系的数据库或近似式,
所述气体浓度计算模块基于所述数据库或所述近似式来计算与所述比相对应的所述浓度。
8.如权利要求1至7中任一项所述的气体浓度计算装置,其特征在于,
具备:
所述气体浓度测量模块,其具备多个所述对象气体不同的所述受光单元;及
多个所述气体浓度计算模块,其与多个所述受光单元相对应。
9.一种气体浓度测量模块,其特征在于,
其是计算对象气体的浓度的气体浓度计算装置中的气体浓度测量模块,
具备:
气室,其形成导入所述对象气体的导入空间;
光源,其配置于所述气室的一端;
信号光接收单元及参照光接收单元,其配置于所述气室的另一端,且接收自所述光源放射的光;及
不活泼气体室,其配置于所述导入空间内的所述光源与所述参照光接收单元之间的光路中,且封入有相对于自所述光源放射的光而言不活泼的不活泼气体。
10.一种气体浓度测量模块,其特征在于,
其是计算对象气体的浓度的气体浓度计算装置中的气体浓度测量模块,
具备:
气室,其形成导入所述对象气体的导入空间;
光源,其配置于所述气室的一端;
信号光接收单元及参照光接收单元,其在所述气室的另一端侧接收自所述光源放射的光,且配置于自所述光源放射的光穿过所述导入空间内的距离不同的位置。
11.一种光检测器,其特征在于,
其是具备分别接收不同的光路上的光的多个受光元件的光检测器,
具备:
遮蔽单元,其将1个所述受光元件所接收的光与其它所述受光元件所接收的光遮蔽,
所述多个受光元件在1个受光元件芯片上邻接地形成。
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