[发明专利]在虚拟量测中使用适应性预测算法及决定何时使用适应性预测算法的方法及设备

权利要求书

1.一种计算机可实施方法，其包含以下步骤：

识别多个预测算法；

及

决定何时使用上述多个预测算法的一个或多个以预测在制造设备中的一或多个虚拟量测变量。

2.如专利要求1所述的计算机可实施方法，进一步包含以下步骤：

识别误差切换临界值，该误差切换临界值系以预测和实际的量测数据为基础；及

判定误差是否大于该误差切换临界值，该误差是在量测数据的预测与实际量测测量数据之间的差异；

若该误差大于该误差切换临界值时，调用简易的适应性预测算法，随后调用复杂的适应性预测算法；并且

若该误差低于或大约等于该误差切换临界值时，调用简易的适应性预测算法。

3.如专利要求1所述的计算机可实施方法，进一步包含以下步骤：

识别质量临界值，其以量测数据的预测和真实量测测量资料为基础；

若该实际的量测测量资料为不可获用时，将预测算法的预测质量与该质量临界值作比较；

若该预测质量大于该质量临界值，调用复杂的适应性预测算法；并且

若该预测质量低于或大约等于该质量临界值，调用简易的适应性预测算法。

4.如专利要求1所述的计算机可实施方法，进一步包含以下步骤：

识别每一预测算法的预测质量；

识别每一预测的预测品质；

执行上述预测的规一化加权计算，其中若该实际的量测测量数据为不可获用时，权重是每一预测算法的该预测质量的函数。

5.一种包含可执行指令以促使处理器以执行操作的计算机可读取储存介质，上述指令包含以下步骤：

识别多个预测算法；及

决定何时使用多个预测算法的一个或多个以预测在制造设备中的一个或多个虚拟量测变量。

6.如专利要求5所述的计算机可读取储存介质，进一步包含以下步骤：

识别误差切换临界值，该误差切换临界值是以量测数据的预测和实际量测数据为基础；及

决定误差是否大于该误差切换临界值，该误差切换临界值是在量测数据之预测与实际的量测测量数据之间的差异；

若该误差大于该误差切换临界值，调用简易的适应性预测算法，随后调用复杂的适应性预测算法；

若该误差小于或大约等于该误差切换临界值时，调用简易的适应性预测算法。

7.如专利要求5所述的计算机可读取储存介质，进一步包含以下步骤：

识别质量临界值，该质量临界值是以量测数据的预测和实际的量测测量数据为基础；

若该实际的量测测量资料为不可获用时，将预测算法的预测质量与该质量临界值作比较；

若该预测质量大于该质量临界值，调用复杂的适应性预测算法；及

若该预测质量低于或大约等于该质量临界值，调用简易的适应性预测算法。

8.如专利要求5所述的计算机可读取储存介质，进一步包含以下步骤：

识别每一预测算法的预测质量；

识别每一预测的预测品质；

9.如专利要求8所述的计算机可读取储存介质，，进一步包含以下步骤：

执行上述预测的规一化加权计算，其中若该实际的量测测量数据为不可获用时，权重是每一预测算法的该预测质量的函数。

10.一种计算机系统，其包含：

内存；及

处理器，其耦合至该内存，用于：

识别多个预测算法的一个或多个；

及

判定何时使用上述多个预测算法的一个或多个以预测在制造设备中的一或多个虚拟量测变量。

11.如专利要求10所述的计算机系统，其中该处理器进一步用于：

识别误差切换临界值，该误差切换临界值是以量测资料的预测与实际的量测测量数据为基础；及

判定误差是否大于该误差切换临界值，该误差是在量测数据的预测与实际量测测量数据之间的差异。

12.如专利要求11所述的计算机系统，其中该处理器进一步用于：

若该误差大于该误差切换临界值，调用简易的适应性预测算法，随后调用复杂的适应性预测算法。

13.如专利要求11所述的计算机系统，其中该处理器进一步用于：

若该误差小于或大约等于该误差切换临界值，调用简易的适应性预测算法。