[发明专利]包含含有包括磺酰胺官能团的重复单元的聚合物的顶涂层组合物，含有其的光刻胶组合物及其使用方法

权利要求书

1.一种组合物，其包含根据式(I)的含有磺酰胺基团和支化的连接基团的重复单元

其中：

R₁和R₂独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；

R₃选自氢、卤素、C₁-C₁₂烷基和氟化C₁-C₁₂烷基；

R₄、R₅和R₆独立地选自氢、氟、C₁-C₁₂烷基和氟化C₁-C₁₂烷基；

R₇为氟化C₁-C₁₂烷基；和

R₄、R₅和R₆至少之一包含碳。

2.权利要求1的组合物，其中R₇选自三氟甲基和全氟丁基。

3.权利要求1的组合物，其中组合物包含根据式(II)的重复单元

其中：

R₈独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；和

R₉为氟化C₁-C₁₂烷基。

4.权利要求3的组合物，其中R₉选自三氟甲基和全氟丁基。

5.权利要求1的组合物，其中组合物包含根据式(III)的重复单元

其中：

R₁₀独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；和

R₁₁为氟化C₁-C₁₂烷基。

6.权利要求5的组合物，其中R₁₁选自三氟甲基和全氟丁基。

7.权利要求1的组合物，其中组合物包含根据式(V)的重复单元

其中：

R₁₄独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；和

R₁₅为氟化C₁-C₁₂烷基。

8.权利要求7的组合物，其中R₁₅选自三氟甲基和全氟丁基。

9.权利要求1的组合物，其中组合物包含根据式(VI)的重复单元

其中：

R₁₆独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；和

R₁₇为氟化C₁-C₁₂烷基。

10.权利要求9的组合物，其中R₁₇选自三氟甲基和全氟丁基。

11.权利要求1的组合物，其中组合物包含选自式(IV)和(VII)-(IX)的重复单元

其中：

R₁₂、R₁₈、R₂₀和R₂₂独立地选自氢、氟、甲基和三氟甲基；和

R₁₃、R₁₉、R₂₁和R₂₃独立地为氟化C₁-C₁₂烷基。

12.权利要求11的组合物，其中R₁₃、R₁₉、R₂₁和R₂₃独立地选自三氟甲基和全氟丁基。