[发明专利]压电致动器机构

权利要求书

1.一种压电致动器机构，其特征在于，具有：基于进给丝杠和进给丝杠螺母的丝杠进给机构；安装在所述进给丝杠螺母的后端面上的圆盘形转子；具有与所述转子的周面接触的压电振子的超声波电动机；以及通过弹簧力被按压到所述进给丝杠的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部。

2.如权利要求1所述的压电致动器机构，其中，

所述被动安装部是通过固定支点在一侧表面中支承为能够旋回的反射镜保持架。

3.如权利要求1所述的压电致动器机构，其中，

所述被动安装部是被直线移动台的直线导轨支承的可动工作台。

4.如权利要求1或2所述的压电致动器机构，其中，

所述圆盘形转子以能够更换的方式安装在所述进给丝杠的后端面上，所述超声波电动机被安装成能够在所述压电振子的轴向上与所述圆盘形转子的外径对应地进行位置调整。

5.如权利要求1或2所述的压电致动器机构，其中，

所述圆盘形转子以能够更换的方式安装在所述进给丝杠的后端面上，所述超声波电动机被安装成能够与所述圆盘形转子的外径对应地进行更换。

6.一种压电致动器机构，其特征在于，具有：基于进给丝杠和进给丝杠螺母的丝杠进给机构；安装在所述进给丝杠螺母的后端面上的圆盘形转子；具有与所述转子的一端面接触的压电振子的超声波电动机；以及通过弹簧力被按压到所述进给丝杠的前端、并且通过该进给丝杠的进给动作进行移位、找位的被动安装部。

7.如权利要求6所述的压电致动器机构，其中，

所述圆盘形转子形成为比所述进给丝杠螺母的外径大的外径，所述超声波电动机与所述圆盘形转子的与所述进给丝杠螺母相面对的一侧的一端面接触。