[发明专利]太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池，其特征在于，具有：

受光面电极层；

层叠在所述受光面电极层上的第一光电转换部；

层叠在所述第一光电转换部上的包含SiO的反射层；

层叠在所述反射层上的第二光电转换部；和

层叠在所述第二光电转换部上的背面电极层，

所述反射层的氧浓度形成为，所述第二光电转换部一侧比所述第一光电转换部一侧高。

2.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述反射层的氧浓度形成为，从所述第一光电转换部一侧向所述第二光电转换部一侧逐渐地或阶段性地升高。

3.如权利要求1所述的太阳能电池，其特征在于：

所述反射层包含微晶。

4.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，具有：

形成受光面电极层的工序A；

在所述受光面电极层上形成第一光电转换部的工序B；

在所述第一光电转换部上形成的包含SiO的反射层的工序C；

在所述反射层上形成第二光电转换部的工序D；和

在所述第二光电转换部上形成背面电极层的工序E，

在所述工序C中，以使得所述反射层的氧浓度在所述第二光电转换部一侧比所述第一光电转换部一侧高的方式形成。

5.如权利要求4所述的太阳能电池，其特征在于：

所述工序C是通过使用含硅的气体和含氧的气体的等离子体CVD法形成所述反射层的工序，以含氧气体的流量在成膜结束时比成膜开始时增多的方式形成。