[发明专利]用于使产品衬底与载体衬底脱离的设备和方法

权利要求书

1.一种用于使产品衬底（4）与通过连接层（6）同该产品衬底（4）连接的载体衬底（2）脱离的设备，其具有如下特征：

- 膜框架（1），

- 与该膜框架（1）连接的柔性膜（3），所述柔性膜（3）在膜（3）的接触面区段（3k）中具有用于容纳该产品衬底（4）的粘结层（3s），其中膜（3）在膜（3）的围绕该接触面区段（3k）的附着区段（3b）中与该膜框架（1）连接，

- 通过该膜框架（1）和膜（3）形成的、尤其是容积变化的用于容纳用于分离该连接层（6）的溶剂（22）的储溶剂器（20），其中该产品衬底（4）和该连接层（6）能够被容纳在该储溶剂器（20）中，

- 用于将该溶剂（22）引入到该储溶剂器（20）中的引入装置（23），以及

- 用于使该产品衬底（4）与该载体衬底（2）脱离的脱离装置。

2.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

溶剂（22）被设置用于至少部分地分离在载体衬底（2）与产品衬底（4）之间的通过连接层（6）引起的连接。

3.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

溶剂（22）尤其是包括选择性地溶解连接层（6）的用于至少部分地分离连接层（6）的液体剂。

4.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

储溶剂器（20）被构造为使得溶剂（22）至少在分离连接层（6）的开始时尤其是仅在产品衬底（4）的周长（4u）的区域中起作用。

5.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

脱离装置以引起作用于载体衬底（2）上的力Fs和与力Fs相反地指向的作用于膜框架（1）上的力Ff的方式被构造。

6.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

膜（3）尤其是通过力Fs和力Ff能够在接触面区段（3k）与附着区段（3b）之间的脱离区段（3a）中被张紧。

7.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

设置有作用到溶剂（22）和/或连接层（6）上的、尤其是邻接膜（3）的和/或可被引入到溶剂（22）中的振荡发生器（10，10'）。

8.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

脱离装置同心地以从产品衬底（4）的周长（4u）到产品衬底（4）的中心（4z）起作用的方式被构造。

9.根据上述权利要求之一所述的设备，

其特征在于，

储溶剂器（20）槽形地被构造。

10.一种用于使产品衬底（4）与通过连接层（6）同该产品衬底（4）连接的载体衬底（2）脱离的方法，其具有如下步骤：

- 构造通过膜框架（1）和与该模框架连接的柔性膜（3）形成的储溶剂器（20），用于容纳用于分离该连接层（6）的溶剂（22），

- 在该储溶剂器（20）中容纳该产品衬底（4）和该连接层（6），

- 将该溶剂（22）引入到该储溶剂器（20）中，以及

- 使该产品衬底（4）与该载体衬底（2）脱离。

11.根据权利要求10所述的方法，

其特征在于，

溶剂（22）被用于至少部分地分离在载体衬底（2）与产品衬底（4）之间的通过连接层（6）引起的连接。

12.根据权利要求10或11所述的方法，

其特征在于，

溶剂（22）至少在分离连接层（6）的开始时尤其是仅在产品衬底（4）的周长（4u）的区域中起作用。

13.根据权利要求10至12之一所述的方法，

其特征在于，

通过作用于载体衬底（2）上的力Fs和与力Fs相反地指向的作用于膜框架（1）上的力Ff引起脱离。

14.根据权利要求10至13之一所述的方法，

其特征在于，

产品衬底（4）的脱离同心地从产品衬底（4）的周长（4u）到产品衬底（4）的中心（4z）进行。