[发明专利]紧凑式干涉仪分光计

权利要求书

1.一种干涉仪，所述干涉仪包括环绕路径光学器件和检测器，其中：

所述环绕路径光学器件包括分束器和至少两个反射元件，所述分束器被布置为将输入光束分为第一光束和第二光束，所述环绕路径光学器件被布置为围绕环绕某一区域的路径在相反方向上引导所述第一光束和所述第二光束并且朝向所述检测器输出所述第一光束和所述第二光束；

所述环绕路径光学器件被布置为将所述第一光束和所述第二光束聚焦在所述检测器上；并且

所述检测器被布置为检测由所述第一光束和所述第二光束的干涉产生的图案。

2.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，通过所述反射元件中的至少一个反射元件的弯曲提供所述环绕路径光学器件的光束聚焦。

3.根据权利要求2所述的干涉仪，其中，通过所述反射元件中的两个反射元件的弯曲提供所述环绕路径光学器件的光束聚焦。

4.根据权利要求2或3所述的干涉仪，其中，所述反射元件中的至少一个反射元件的弯曲被设置为将所述第一光束和所述第二光束聚焦在所述检测器上，使得像平面处的光场的形状基本上匹配所述检测器的检测表面的形状。

5.根据权利要求2至4中的任一项所述的干涉仪，其中，所述反射元件中的至少一个反射元件的弯曲被设置为将所述第一光束和所述第二光束聚焦为使得所述像平面具有平的光场。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，所述干涉仪包括两个反射元件，其中，所述分束器和所述两个反射元件被布置为，使得所述第一光束由所述分束器引导到所述两个反射元件中的第一反射元件，并且所述第二光束由所述分束器引导到所述两个反射元件中的第二反射元件。

7.根据权利要求6所述的干涉仪，其中，所述反射元件中的所述第一反射元件被布置为将所述第一光束引导到所述反射元件中的所述第二反射元件，并且所述反射元件中的所述第二反射元件被布置为将所述第二光束引导到所述反射元件中的所述第一反射元件，并且所述第二反射元件和所述第一反射元件被布置为将所述第一光束和所述第二光束分别引导到所述分束器。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述分束器分别通过透射和反射产生所述第一光束和所述第二光束。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述分束器将来自所述环绕路径的所述第一光束和所述第二光束引导到所述检测器。

10.根据权利要求9所述的干涉仪，其中，所述分束器分别通过透射和反射将所述第一光束和所述第二光束引导到所述检测器。

11.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，所述干涉仪进一步包括用于准直所述输入光束的输入光学器件。

12.根据权利要求11所述的干涉仪，其中，所述输入光学器件包括单筒望远镜结构或双筒望远镜结构。

13.根据权利要求3至12中的任一项所述的干涉仪，其中，所述两个反射元件的弯曲是相同的。

14.根据权利要求2至13中的任一项所述的干涉仪，其中，所述反射元件中的至少一个反射元件是凹的。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述检测器被布置为沿着线检测由所述第一光束和所述第二光束的干涉产生的图案。

16.根据权利要求15所述的干涉仪，其中，所述检测器是线性阵列传感器。

17.根据权利要求15所述的干涉仪，其中，所述检测器包括布置为沿着线往复移动的至少一个传感器。

18.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述环绕路径是三角形的。

19.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述反射元件和所述分束器相对于彼此是固定的。

20.根据权利要求1至16和18至19中的任一项所述的干涉仪，其中，所述检测器相对于所述环绕路径光学器件是固定的。

21.根据前述权利要求中的任一项所述的干涉仪，其中，所述分束器将所述输入光束分为强度基本上相同的第一光束和第二光束。