[发明专利]表面检查装置

权利要求书

1.一种表面检查装置，其特征在于，具备：

环形照明装置，其具有环状的光射出部、在该光射出部与检查对象物之间具有与该光射出部为同心圆状且内径比该光射出部的内径小的光学开口部的遮光板；

摄像部，其配置在所述遮光板的开口部的中心线上，并且经由该开口部对所述检查对象物的表面进行摄像；

在所述摄像部摄像的所述检查对象物表面上的摄像区域，仅照射从所述光射出部照射出的光中的被所述遮光板的开口部边缘部衍射的光，设定所述光射出部与所述检查对象物表面之间的距离，以使所述对象物表面上的摄像区域内的平均亮度级别在规定等级以上，且使该摄像区域内的亮度级别差在规定范围内。

2.如权利要求1所述的表面检查装置，其特征在于，

所述检查对象物是沿长度方向被输送的带状材料，

所述表面检查装置具备横动部，该横动部在输送具有规定长度的区间的期间内，使所述环形照明装置及所述摄像部在所述带状材料的整个宽度至少往复一次，并且在每输送具有所述规定长度的区间时都反复相同的动作，所述规定长度为所述带状材料固有设定的连续性缺陷的连续产生长度的最低长度以下，

对在该带状材料表面产生的连续性缺陷进行检查。

3.如权利要求2所述的表面检查装置，其特征在于，具备：

输送距离检测部，其检测所述带状材料的输送距离；

摄像定时控制部，其对基于由所述输送距离检测部检测出的输送距离信息的所述横动部的往复动作和摄像定时进行控制，以使所述摄像部实际上遍及整个宽度地对所述带状材料进行摄像。

4.如权利要求2或3所述的表面检查装置，其特征在于，

在设置有以沿所述带状材料的长度方向相互平行的方式彼此邻接且具有与所述摄像部的宽度方向视野大致相同长度的宽度的多个细长的轨道区域的情况下，所述摄像部对属于各自所述轨道区域的彼此邻接的部分区域或在所述长度方向互相分开的所述部分区域进行摄像。

5.如权利要求2或3所述的表面检查装置，其特征在于，具备：

图像处理部，其提取由所述摄像部摄像的各图像内的缺陷有害度作为数值数据；

缺陷分布计算部，其基于由所述图像处理部提取的所述各图像的缺陷数值数据和其摄像位置计算出带状材料表面的二维缺陷产生状况。

6.如权利要求5所述的表面检查装置，其特征在于，

还具备缺陷图显示部，该缺陷图显示部在所述带状材料表面的二维展开图上显示由缺陷分布计算部计算出的缺陷分布状况。

7.如权利要求6所述的表面检查装置，其特征在于，

所述缺陷图显示部将所述带状材料表面分割为矩形网格，通过改变显示色或显示标志来表示各网格的缺陷有害度。

8.如权利要求1～7中任一项所述的表面检查装置，其特征在于，

所述检查对象物为钢板，对该钢板上的摄像区域内的微小点状缺陷进行检查。

9.如权利要求2～7中任一项所述的表面检查装置，其特征在于，

所述带状材料为酸洗钢板，所述连续性缺陷为氧化皮残留。