[发明专利]研磨装置、研磨垫及研磨信息管理系统

权利要求书

1.一种研磨垫，其特征在于，设置有：

传感器；

存储器，用以存储藉由所述传感器而获得的检测信息；

电源部；以及

通信器，与外部非接触地进行通信。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，

包括埋入于该研磨垫的信息存储模块，

在所述信息存储模块中，设置有所述存储器、所述电源部及所述通信器。

3.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，

包括至少一个种类的所述传感器，将温度、压力及旋转次数中的至少任意一个作为检测对象。

4.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，

所述存储器除了存储有该研磨垫被安装于研磨装置并在其研磨动作中藉由所述传感器而获得的检测信息之外，还存储有该研磨垫的制造履历与所述研磨装置的动作条件。

5.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，

进一步包括寿命显示器，

所述信息存储模块根据在所述存储器中存储的所述检测信息，对所述研磨垫进行寿命判定，将该寿命判定结果显示于所述寿命显示器。

6.一种研磨信息管理系统，其特征在于，包含：

权利要求1所述的研磨垫；以及

通信部，可与设于所述研磨垫的通信器非接触地进行通信。

7.一种研磨装置，在将保持于上定盘的下表面的被研磨物与安装于下定盘上的研磨垫接触加压的状态下，使所述被研磨物与所述研磨垫相对滑动，以进行研磨，其特征在于：

所述研磨垫为权利要求1所述的研磨垫；

具有通信部，可与设于所述研磨垫的通信器非接触地进行通信。