[发明专利]高度测定方法、高度测定用程序、高度测定装置

权利要求书

1.一种高度测定方法，其特征在于：其使用于高度测定装置中，所述高度测定装置是使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且使用成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获取高度值；且

预先求出对应于所述被测物表面的倾斜角度的高度修正值作为角度修正值，

根据所述摄像装置的各像素的所述高度值求出与所述各像素位置对应的所述被测物表面的所述倾斜角度，根据所述角度修正值求出与所求出的所述倾斜角度对应的所述高度修正值，使用所求出的高度修正值修正与所述各像素对应的所述被测物的表面的高度值。

2.根据权利要求1所述的高度测定方法，其特征在于：

求出与所述各像素位置对应的所述被测物表面的倾斜角度作为根据所述各像素的高度值求出的所述被测物表面的暂定倾斜角度，对所述各像素的所述高度值加减与该暂定倾斜角度对应的所述高度修正值。

3.根据权利要求1或2所述的高度测定方法，其特征在于：

根据加减了与所述暂定倾斜角度对应的高度修正值的所述各像素的高度值，通过收敛计算来计算与所述各像素位置对应的所述被测物表面的倾斜角度及高度修正值。

4.根据权利要求1所述的高度测定方法，其特征在于：

所述角度修正值，为由所述摄像装置拍摄的一画面所对应的所述倾斜角度与所述高度修正值。

5.根据权利要求4所述的高度测定方法，其特征在于：

所述一画面所对应的所述高度修正值，为从根据对应于所述各像素位置的所述被测物表面的倾斜角度求出的最小二乘平面的中心值偏移的值。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的高度测定方法，其特征在于：

预先求出所述高度修正值时所使用的所述被测物，为标准平面镜。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的高度测定方法，其特征在于：

预先求出所述高度修正值时所使用的所述被测物，为球径已知的标准球。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的高度测定方法，其特征在于：

所述被测物，具有纹理图案，

所述纹理图案与所述投影图案的空间频率不同，

所述角度修正值，为包含与所述各像素位置对应的所述被测物表面的倾斜角度、及基于所述纹理图案所得出的高度值测定结果与基于所述投影图案所得出的高度值测定结果的差量的所述高度修正值。

9.一种高度测定用程序，其用于高度测定装置中，所述高度测定装置是使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且由成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获取高度值；且

使计算机执行权利要求1至8中任一项所述的高度测定方法。

10.一种高度测定装置，其特征在于：使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且使用成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获取高度值；且

包括权利要求1至8中任一项所述的高度测定方法、及执行权利要求9所述的高度测定用程序的计算机。

11.一种高度测定用程序，其特征在于：其用于高度测定装置中，所述高度测定装置是使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且由成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获取高度值；且

使计算机作为如下机构发挥功能：

获取机构，预先获取所述被测物表面的倾斜角度所对应的高度修正值作为角度修正值；

角度算出机构，根据使用所述摄像装置拍摄的像的各像素的高度值来求出与该各像素位置对应的所述被测物表面的倾斜角度；以及

高度值修正机构，根据所述角度修正值求出与所求出的该倾斜角度对应的所述高度修正值，对所述测定的高度值加减所求出的高度修正值。

12.一种高度测定装置，其特征在于：使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且由成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获得高度值；且包括：

保存机构，将预先获取的所述被测物表面的倾斜角度所对应的高度修正值作为角度修正值进行保存；

角度算出机构，根据使用所述摄像装置拍摄的像的各像素的高度值来求出与该各像素位置对应的所述被测物表面的倾斜角度；以及

高度值修正机构，根据所述角度修正值求出与所求出的该倾斜角度对应的所述高度修正值，对所述测定的高度值加减所求出的高度修正值。