[发明专利]具有偏移裸片叠层的多芯片封装及其制造方法无效

专利信息
申请号: 201180014372.4 申请日: 2011-03-08
公开(公告)号: CN103098206A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: P·吉利厄姆 申请(专利权)人: 莫塞德技术公司
主分类号: H01L23/50 分类号: H01L23/50;H01L21/58;H01L27/10
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇
地址: 加拿大*** 国省代码: 加拿大;CA
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摘要:
搜索关键词: 具有 偏移 裸片叠层 芯片 封装 及其 制造 方法
【说明书】:

相关申请

本申请要求美国临时申请No.61/315,111的优先权,其全部内容通用引用包含在本发明中。

技术领域

本发明总地涉及半导体存储器件。

背景技术

半导体集成电路芯片(例如便携式闪存卡)已普遍用于数据存储。这些设备的使用者总期望数据存储容量能不断增长,并且制造者力求以低成本方式提供较大的存储容量,同时保持标准的封装尺寸,以确保与现有电子器件的兼容性。

已知通过在单个封装中堆叠多个半导体裸片(所谓的“多芯片封装”,MCP)能提高单个封装中的存储密度。相对于单个裸片(die),裸片数量的增多会相应地提高存储容量。参见图1,MCP 100由四个NAND闪存裸片102构成。应理解,该方法可等同应用到其他类型的存储设备中。每个裸片102具有焊盘104,该焊盘104经焊线106电连接至共同的基底108。尽管所示的裸片102在其相对的两侧均具有焊盘,但是应理解,每个裸片102可替代地具有不同布置方式的焊盘104,例如可以布置在单侧上,或布置在相邻的两侧上,或任一其他布置方式。基底108在其相对一侧上提供其他从焊线106到焊料球110的电连接,从而形成用于连接至外部设备(未示出)的球栅阵列(BGA)。插入物112位于每对相邻的裸片102之间,以在二者之间提供足够的间隙以允许焊线106接附至焊盘104。该结构的缺点是,插入物112的厚度限制了在尺寸固定的封装中可被堆叠的裸片102的数量,由此限制了MCP 100的总存储容量。另外,因为每个裸片102悬盖于下面裸片102的焊盘104之上,所以用于每个裸片102的焊线106必须在堆叠下一个裸片102之前进行接附,这样将导致制造步骤的增加,以及在组装时耗时又费力。

图2示出了另一种方法。MCP 200由四个NAND闪存裸片202构成,每个NAND闪存裸片202沿一侧具有焊盘204。可替代地,还可以采用具有沿相邻的两侧布置的焊盘204的裸片202,如下面将详细讨论的。裸片202在横向上彼此偏移以暴露出每个裸片202的焊盘204。在该结构中,所有的裸片202均可在一单独的步骤中堆叠,然后可在一单独的步骤中利用焊线机(未示出)接附所有的焊线206。该结构不需要插入物来提供到焊盘204的通道,这样在结构上更紧凑。但是,该结构的缺点在于,用于所有裸片202的所有焊线206必须沿裸片202的同一侧接附,并且都接附至基底208的同一表面。所产生的高互连密度可能是拥挤的并且呈现逻辑阻碍,尤其是在诸如HLNANDTM闪存设备之类的设备中,其中每个裸片202都需要在基底208上有单独的互连迹线。尽管可以通过在基底208上提供另外的互连层来克服上述问题,但这将提高制造成本。

图3中示出了另一种方法。MCP 300由交错布置的四个NAND闪存裸片302A、302B、302C、302D构成。裸片302A、302C具有沿左侧取向的焊盘304,裸片302B、302D具有沿右侧取向的焊盘304。在相邻的裸片302之间的横向偏移暴露出焊盘304,裸片302的厚度提供了用以连接焊线306的足够的间隙。例如,裸片302B在裸片302A和裸片302C之间提供了足够的间隙以连接焊线306至裸片302A的焊盘304。因此,通过交替焊盘304的取向减轻了基底308的互连拥挤问题,从而允许一半的互连线置于叠层的任一侧上。然而,这种结构的缺陷在于,焊线306不能在一单独的制造步骤中都被接附,因为裸片302C和302D分别悬出并阻挡了到裸片302A和302B的焊盘304的通道。另外,裸片302B和302C的厚度必须提供足够的间隙以使焊线306分别连接至裸片302A和302B。该间隙一般要求为100微米的量级。尽管可以制造出更薄的裸片302,但用在这种结构中形成不了间隙,因此不能使用它们来减少叠层的总高度,从而限制了在尺寸固定的封装中可被堆叠的裸片302的数量。其结果是,MCP 300的总存储容量也受到限制,而且也无法通过降低裸片302的厚度来进一步提高总存储容量。

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