[发明专利]用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统

权利要求书

1.用于在薄膜沉积设备中对材料进行收集和回收的装置，其特征在于，元件（3）能够截获来自于沉积过程的材料的浪费部分，所述元件：

布置在各个模块（1、5）中，能够根据沉积腔室的形状组合成多种构造；

依据待回收的材料，借助于如下构件而回转：机电驱动器（4）；机械传动系统（6、10、15a、15b）；在驱动器（4）与沉积过程（9）的软件/面板控制器之间的电子接口（9），从而使所述元件的转动自动化；

是可拆除的；

能够与所收集的材料分离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述元件（3）是沿竖向设置在每个模块（1、5）中的叶片。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述模块（1、5）包括至少一块水平板（2），该至少一块水平板带有如下两种不同种类的壳体：

在上部部分中的第一种壳体，用于管状侵入物，栅板在该上部部分中直接地枢转，或者，刚性地连接到栅板上的齿轮（10）在该上部部分中枢转；

在下部部分中的第二种壳体，在采用多于一排模块的情况下能够容纳悬挂系统（11），该悬挂系统（11）能够保持下方一排模块的栅板（3）。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，被称为驱动器模块（1）的至少一个模块容纳引擎系统（4），该引擎系统启动齿轮（10）的转动，并因此启动连接到所述齿轮上的栅板（3）的定向，所述驱动器模块（1）包括：电动引擎（16）、皮带轮（17）以及作为驱动带（15a、15b）的适当运动传递系统，以直接驱动同一驱动器模块（1）的齿轮（10）、和另外的带齿‘联接’轮（6），该带齿‘联接’轮将运动传递到可以为非驱动轮的类似齿轮（10），所述类似齿轮在同一排的相接续的‘简单’侧模块（5）中。

5.根据权利要求2至4之一所述的装置，其特征在于，栅板（3）能够沿短边缘滑动地插入在U形导轨（12a、12b）中，所述U形导轨带有管状插入物（13a、13b），该管状插入物设置在导轨（12a&b）的一侧上，该侧与栅板（3）滑动的那一侧相对，下部导轨（12b）的插入物（13b）刚性地连接到齿轮（10）上，该齿轮在板（2）上枢转；上部导轨（12a）的插入物（13a）刚性地连接到盘或弹簧（14）上，该盘或弹簧刚性地连接到导轨（12a）上，并且通过插入在对应盘形或管状壳体中而容纳在板（2）内但能够自由地转动，其使用通过在板（2）中的适当凹槽而容易进行。

6.根据权利要求1或3所述的装置，设有各个模块的独立支承和连接系统，由管状框架（7）制成，管状框架连接水平板（2）和对应接头组（8），使得模块（1、5）能够非竖向地定向，并避免安装在沉积腔室中的原有传感器的屏蔽。

7.根据权利要求2至5之一所述的装置，其中，基于高优先性的考虑，栅板（3）——所述栅板在U形导轨（12a、12b）中是可拆除的/可插入的，并且能被驱动器系统致动成不同转动构造——仅在一侧（所述“a侧”）上收集一种材料，并且在另一侧（所述“b侧”）上收集在沉积腔室内常规使用的一组其它材料。

8.根据权利要求2至5及7之一所述的装置，其中，所述栅板（3）由复合材料制成，该复合材料的特征在于，具有金属材料或氧化铝（两者都适于超高真空条件）的芯部、和两个表面聚合物层，这两个表面聚合物层对于所选的芯部具有较低粘着力，并因此能被容易地去除，但同时耐受沉积腔室的温度-压力条件。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述聚合物是聚乙烯醇。

10.根据权利要求8所述的装置，其中，所述聚合物是聚甲基丙烯酸甲酯。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，在驱动器（4）与沉积过程的软件/面板控制器之间的电子接口（9），能够将输入信号作为使用的材料类型、对应的坩锅/器皿的接通和断开时间、以及栅板（3）的结束位置、启动时间及转动速度来处理，如果存在蒸发/溅射设备的控制软件/面板，这些输入信号由蒸发/溅射设备的控制软件/面板自动地产生，如果不存在蒸发/溅射设备的控制软件/面板，则这些输入信号由使用者人工地插入，所述接口（9）也能够产生输出信号，如校准检查和动力信号，以启动/停止引擎，接收引擎系统（4）工作参数和其结束位置作为反馈。

12.沉积腔室，该沉积腔室嵌入有如权利要求1至11中所述的、用于在薄膜沉积过程中对材料进行收集和回收的装置。