[发明专利]用来收集和回收沉积材料的薄膜沉积设备的栅板系统有效

专利信息
申请号: 201180014639.X 申请日: 2011-03-18
公开(公告)号: CN103119194A 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 安东尼奥·安德烈·真蒂莱;萨尔瓦托雷·莫德奥 申请(专利权)人: 安东尼奥·安德烈·真蒂莱和萨尔瓦托雷·莫德奥MRS普通合伙公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C16/44
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 王初
地址: 意大*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要:
搜索关键词: 用来 收集 回收 沉积 材料 薄膜 设备 系统
【权利要求书】:

1.用于在薄膜沉积设备中对材料进行收集和回收的装置,其特征在于,元件(3)能够截获来自于沉积过程的材料的浪费部分,所述元件:

布置在各个模块(1、5)中,能够根据沉积腔室的形状组合成多种构造;

依据待回收的材料,借助于如下构件而回转:机电驱动器(4);机械传动系统(6、10、15a、15b);在驱动器(4)与沉积过程(9)的软件/面板控制器之间的电子接口(9),从而使所述元件的转动自动化;

是可拆除的;

能够与所收集的材料分离。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于:所述元件(3)是沿竖向设置在每个模块(1、5)中的叶片。

3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于:所述模块(1、5)包括至少一块水平板(2),该至少一块水平板带有如下两种不同种类的壳体:

在上部部分中的第一种壳体,用于管状侵入物,栅板在该上部部分中直接地枢转,或者,刚性地连接到栅板上的齿轮(10)在该上部部分中枢转;

在下部部分中的第二种壳体,在采用多于一排模块的情况下能够容纳悬挂系统(11),该悬挂系统(11)能够保持下方一排模块的栅板(3)。

4.根据权利要求3所述的装置,其中,被称为驱动器模块(1)的至少一个模块容纳引擎系统(4),该引擎系统启动齿轮(10)的转动,并因此启动连接到所述齿轮上的栅板(3)的定向,所述驱动器模块(1)包括:电动引擎(16)、皮带轮(17)以及作为驱动带(15a、15b)的适当运动传递系统,以直接驱动同一驱动器模块(1)的齿轮(10)、和另外的带齿‘联接’轮(6),该带齿‘联接’轮将运动传递到可以为非驱动轮的类似齿轮(10),所述类似齿轮在同一排的相接续的‘简单’侧模块(5)中。

5.根据权利要求2至4之一所述的装置,其特征在于,栅板(3)能够沿短边缘滑动地插入在U形导轨(12a、12b)中,所述U形导轨带有管状插入物(13a、13b),该管状插入物设置在导轨(12a&b)的一侧上,该侧与栅板(3)滑动的那一侧相对,下部导轨(12b)的插入物(13b)刚性地连接到齿轮(10)上,该齿轮在板(2)上枢转;上部导轨(12a)的插入物(13a)刚性地连接到盘或弹簧(14)上,该盘或弹簧刚性地连接到导轨(12a)上,并且通过插入在对应盘形或管状壳体中而容纳在板(2)内但能够自由地转动,其使用通过在板(2)中的适当凹槽而容易进行。

6.根据权利要求1或3所述的装置,设有各个模块的独立支承和连接系统,由管状框架(7)制成,管状框架连接水平板(2)和对应接头组(8),使得模块(1、5)能够非竖向地定向,并避免安装在沉积腔室中的原有传感器的屏蔽。

7.根据权利要求2至5之一所述的装置,其中,基于高优先性的考虑,栅板(3)——所述栅板在U形导轨(12a、12b)中是可拆除的/可插入的,并且能被驱动器系统致动成不同转动构造——仅在一侧(所述“a侧”)上收集一种材料,并且在另一侧(所述“b侧”)上收集在沉积腔室内常规使用的一组其它材料。

8.根据权利要求2至5及7之一所述的装置,其中,所述栅板(3)由复合材料制成,该复合材料的特征在于,具有金属材料或氧化铝(两者都适于超高真空条件)的芯部、和两个表面聚合物层,这两个表面聚合物层对于所选的芯部具有较低粘着力,并因此能被容易地去除,但同时耐受沉积腔室的温度-压力条件。

9.根据权利要求8所述的装置,其中,所述聚合物是聚乙烯醇。

10.根据权利要求8所述的装置,其中,所述聚合物是聚甲基丙烯酸甲酯。

11.根据权利要求1所述的装置,其中,在驱动器(4)与沉积过程的软件/面板控制器之间的电子接口(9),能够将输入信号作为使用的材料类型、对应的坩锅/器皿的接通和断开时间、以及栅板(3)的结束位置、启动时间及转动速度来处理,如果存在蒸发/溅射设备的控制软件/面板,这些输入信号由蒸发/溅射设备的控制软件/面板自动地产生,如果不存在蒸发/溅射设备的控制软件/面板,则这些输入信号由使用者人工地插入,所述接口(9)也能够产生输出信号,如校准检查和动力信号,以启动/停止引擎,接收引擎系统(4)工作参数和其结束位置作为反馈。

12.沉积腔室,该沉积腔室嵌入有如权利要求1至11中所述的、用于在薄膜沉积过程中对材料进行收集和回收的装置。

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