[发明专利]用于执行与管芯的图案对准的方法和装置

权利要求书

1.一种用于在直接写入机中图案化工件的一层的方法，其中所述直接写入机设置有用于控制写操作的坐标系，且所述工件具有分布在其上的管芯，其中分布在所述工件上的管芯与以原始电路图案数据的形式的电路图案相关；

所述方法包括下列步骤：

a.接收与所述工件相关并指示分布在所述工件上的多个管芯或管芯组相对于所述工件的至少一个基准特征的测量位置的测量数据；

b.探测所述工件的所述至少一个基准特征；

c.确定所述工件的所述至少一个基准特征和所述直接写入机的所述坐标系之间的关系；

d.根据在所述工件的所述至少一个基准特征和所述直接写入机的所述坐标系之间的所述确定的关系将分布在所述工件上的所述多个管芯或管芯组的所述测量位置变换成在所述直接写入机的所述坐标系中定义的变换位置；

e.根据所述原始图案数据和所述变换位置来准备用于写在所述工件上的经调整的电路图案数据，其中所述经调整的电路图案数据表示所述多个管芯或管芯组的电路图案，使得所述经调整的电路图案配合到工件区域的至少一部分；

f.根据所述经调整的电路图案数据将图案写在所述工件上。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述经调整的电路图案数据配合到所述工件区域的多个子区域。

3.如权利要求2所述的方法，其中至少一个子区域与分布在所述工件上的所述多个管芯当中的管芯或管芯组相关。

4.如权利要求3所述的方法，其中所述经调整的电路图案数据被处理以配合到多个管芯或管芯组，使得所述经调整的图案数据的子部分每个表示与特定的管芯或管芯组相关的所述工件的子区域，且其中所述子区域中的每个包括或覆盖所述特定的管芯或管芯组。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述工件区域的至少一部分被分成子区域，每个子区域由所述经调整的图案数据的子部分表示，且其中所述子区域通过所接收的测量数据识别，和/或所述工件区域通过使用预先确定的算法而被分成子区域。

6.如权利要求3所述的方法，其中所述子区域通过所接收的测量数据自动识别，和/或所述工件区域通过使用预先确定的算法而被自动分成子区域。

7.如权利要求1到6中任一项所述的方法，其中所述经调整的图案数据的多个所述子部分被处理以在某些要求和/或至少一个可预先设定的偏差参数内配合到相应的子区域。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述某些要求和/或至少一个可预先设定的偏差参数与下列项中的至少一个相关：

a.管芯、部件或管芯/部件组的类型；或

b.所述管芯/部件的表面结构的特征；或

c.所述管芯/部件的形状的特征，例如所述管芯/部件的边缘或角。

9.如权利要求1到8中任一项所述的方法，其中整个经调整的电路图案在一个或一组可预先设定的偏差参数内配合到所述工件上的所述多个管芯或管芯组。

10.如权利要求7到9中任一项所述的方法，其中所述可预先设定的偏差参数包括与定位相关的至少一个参数和与朝向相关的至少一个参数。

11.如权利要求1到10中任一项所述的方法，其中与特定的管芯或管芯组相关的所述经调整的电路图案数据的子部分单独地配合到所述特定的管芯或管芯组。

12.如权利要求1到11中任一项所述的方法，其中所述多个管芯或管芯组包括分布在所述工件上的所有管芯。

13.如权利要求1到12中任一项所述的方法，其中与所述工件上的所述管芯或管芯组中的至少一个相关的所述电路图案数据独立于与所述工件上的其它管芯相关的电路图案数据而被调整。

14.如权利要求1到11中任一项所述的方法，其中与所述工件上的所述多个管芯或管芯组中的每个相关的所述电路图案数据单独地和独立于与所述工件上的其它管芯中的任一个相关的电路图案数据而被调整。

15.如权利要求1到14中任一项所述的方法，其中相对于写入器坐标系的按照定位和朝向的所述管芯或管芯组的位置以及所述工件的定位和朝向用于确定在所述直接写入机的所述坐标系中定义的所述测量位置的变换。