[发明专利]用于执行图案对准的方法和装置

权利要求书

1.一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件的多个层的方法，所述方法在所述工件的第一层N上写第一图案时应用，其中在将随后层N+1的第二图案配合到所述第一层时可用准确度的边界条件被确定；

所述方法包括下列步骤：

a.接收关于在对所述随后层N+1执行所述第二图案的有限变换时的限制的先验信息；

b.计算：

i.呈现对前一层N-1的最佳配合的所述第一层N的所述第一图案的最佳配合变换，所述最佳配合变换使用对在所述第一层N上写可用的对准变换来计算；以及

ii.所述最佳配合变换与完美配合的偏差；

c.计算：

i.在对所述第二层N+1的所述第二图案变换以将朝向配合到所述前一层N-1时应用的有限变换，以及

ii.所述有限变换与完美配合的偏差；

d.计算所述最佳配合变换和所述有限变换之间的所述偏差中的差异；

e.通过加上所述偏差中的所述差异的可选择部分来计算所述最佳配合变换的补偿；

f.计算包括所述补偿的经调整的第一图案；

g.验证所述经调整的第一图案在所述第一层N的对准容差内；

h.如被肯定地验证，则将所述经调整的第一图案写在所述第一层N上。

2.如权利要求1所述的方法，其中N个层将被图案化，N是>1的整数。

3.如权利要求1到2中任一项所述的方法，其中计算变换的步骤在对准过程中被执行。

4.如权利要求1到3中任一项所述的方法，其中在执行所述有限变换中的所述限制被估计。

5.如权利要求1到4中任一项所述的方法，其中在偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择为：

-偏差中的整个差异，例如当需要对准中的高精确度时。

6.如权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择，使得所述偏差中的所述差异局部地分布在层的子集之间，例如使得对层N补偿图案的第一子集的偏差中的差异，并对层N+1补偿图案的第二子集的偏差中的差异。

7.如权利要求1到6中任一项所述的方法，其中：

a.多个数据集合中的每个表示单独的图案变换，其被单独地重新采样并以位图格式存储；

b.对所述数据集合重新采样以在计算经调整的图案的步骤中配合层的图案；

c.在步骤b之前或之后可选地将所述数据集合的选择合并成单个数据集合。

8.如权利要求1到7中任一项所述的方法，其中所述偏差中的所述差异的分布包括：在所述第一层N的测量数据的参数空间中最小化在放射状域中或使用欧几里德范数的至少所述最佳配合变换和所述有限变换的总标准偏差。

9.如权利要求1到8中任一项所述的方法，其中所述误差的分配包括：在所述第一层N的测量数据的参数空间中最小化至少所述最佳配合变换和所述有限变换的最大标准偏差。

10.如权利要求1到9中任一项所述的方法，其中所述误差的分配包括：在所述第一层的测量数据的参数空间中最小化至少所述最佳配合变换和所述有限变换的最大误差。

11.如权利要求1到10中任一项所述的方法，其中所述边界条件可以是：

-不同的写入机将写所述随后层N+1，例如通孔机器；或

-所述随后层N+1是只有特定类型的变换可被使用的层，例如焊接层。

12.如权利要求1到11中任一项所述的方法，其中：

-所述工件的至少一层具有在其上分布的多个管芯；

-每个管芯与原始电路图案相关并由原始电路图案数据表示；

-每个管芯与相应层的对准特征的测量数据相关。

13.如权利要求1到11中任一项所述的方法，其还包括最小化可能从一个层到另一层出现的误差的步骤，所述方法可选地应用在有或没有嵌入式管芯的工件上。