[发明专利]用于执行图案对准的方法和装置有效

专利信息
申请号: 201180015336.X 申请日: 2011-02-25
公开(公告)号: CN103026299A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: M·沃尔斯登;T·奥斯特罗姆;P-E·古斯塔夫森 申请(专利权)人: 密克罗尼克麦达塔公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00
代理公司: 北京市铸成律师事务所 11313 代理人: 孟锐
地址: 瑞典,*** 国省代码: 瑞典;SE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 执行 图案 对准 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件的多个层的方法,所述方法在所述工件的第一层N上写第一图案时应用,其中在将随后层N+1的第二图案配合到所述第一层时可用准确度的边界条件被确定;

所述方法包括下列步骤:

a.接收关于在对所述随后层N+1执行所述第二图案的有限变换时的限制的先验信息;

b.计算:

i.呈现对前一层N-1的最佳配合的所述第一层N的所述第一图案的最佳配合变换,所述最佳配合变换使用对在所述第一层N上写可用的对准变换来计算;以及

ii.所述最佳配合变换与完美配合的偏差;

c.计算:

i.在对所述第二层N+1的所述第二图案变换以将朝向配合到所述前一层N-1时应用的有限变换,以及

ii.所述有限变换与完美配合的偏差;

d.计算所述最佳配合变换和所述有限变换之间的所述偏差中的差异;

e.通过加上所述偏差中的所述差异的可选择部分来计算所述最佳配合变换的补偿;

f.计算包括所述补偿的经调整的第一图案;

g.验证所述经调整的第一图案在所述第一层N的对准容差内;

h.如被肯定地验证,则将所述经调整的第一图案写在所述第一层N上。

2.如权利要求1所述的方法,其中N个层将被图案化,N是>1的整数。

3.如权利要求1到2中任一项所述的方法,其中计算变换的步骤在对准过程中被执行。

4.如权利要求1到3中任一项所述的方法,其中在执行所述有限变换中的所述限制被估计。

5.如权利要求1到4中任一项所述的方法,其中在偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择为:

-偏差中的整个差异,例如当需要对准中的高精确度时。

6.如权利要求1到5中任一项所述的方法,其中所述偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择,使得所述偏差中的所述差异局部地分布在层的子集之间,例如使得对层N补偿图案的第一子集的偏差中的差异,并对层N+1补偿图案的第二子集的偏差中的差异。

7.如权利要求1到6中任一项所述的方法,其中:

a.多个数据集合中的每个表示单独的图案变换,其被单独地重新采样并以位图格式存储;

b.对所述数据集合重新采样以在计算经调整的图案的步骤中配合层的图案;

c.在步骤b之前或之后可选地将所述数据集合的选择合并成单个数据集合。

8.如权利要求1到7中任一项所述的方法,其中所述偏差中的所述差异的分布包括:在所述第一层N的测量数据的参数空间中最小化在放射状域中或使用欧几里德范数的至少所述最佳配合变换和所述有限变换的总标准偏差。

9.如权利要求1到8中任一项所述的方法,其中所述误差的分配包括:在所述第一层N的测量数据的参数空间中最小化至少所述最佳配合变换和所述有限变换的最大标准偏差。

10.如权利要求1到9中任一项所述的方法,其中所述误差的分配包括:在所述第一层的测量数据的参数空间中最小化至少所述最佳配合变换和所述有限变换的最大误差。

11.如权利要求1到10中任一项所述的方法,其中所述边界条件可以是:

-不同的写入机将写所述随后层N+1,例如通孔机器;或

-所述随后层N+1是只有特定类型的变换可被使用的层,例如焊接层。

12.如权利要求1到11中任一项所述的方法,其中:

-所述工件的至少一层具有在其上分布的多个管芯;

-每个管芯与原始电路图案相关并由原始电路图案数据表示;

-每个管芯与相应层的对准特征的测量数据相关。

13.如权利要求1到11中任一项所述的方法,其还包括最小化可能从一个层到另一层出现的误差的步骤,所述方法可选地应用在有或没有嵌入式管芯的工件上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于密克罗尼克麦达塔公司,未经密克罗尼克麦达塔公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201180015336.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top