[发明专利]动态流体阀及其建立方法

权利要求书

1.基材加工设备（1），其包含：

-加工空间（202）；

-压力调节装置，所述压力调节装置配置成维持所述加工空间中的加工空间气氛的加工空间气氛压力不同于基材加工设备的外部（2）中的外部气氛的外部气氛压力；

-通路（104），基材加工设备的外部（2）与加工空间（202）通过所述通路（104）开放连通，基材（10）可通过所述通路（104）在外部和加工空间之间交换；以及

-交换流体注入装置（114、124；112、122），所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成在至少一个交换流体注入点将交换流体注入到通路（104）中，从而使交换流体流动通过至少一部分通路，其中所述流动：

○在外部气氛压力大于加工空间气氛压力的情况下朝向外部；或者

○在外部气氛压力小于加工空间气氛压力的情况下朝向加工空间。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成以如下流速将交换流体注入到通路（104）中：当运行时，尽管外部气氛压力与加工空间气氛压力之间的差异导致相反方向的压差，延伸通过通路的基材（10）在交换流体流动的方向上被加速。

3.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述通路（104）包含位于所述至少一个注入点下游的停滞区域（108），所述停滞区域（108）与交换流体排出通道（106）相连接。

4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述交换流体排出通道（106）与交换流体注入装置（114、124；112、122）相连，从而在运行时，从停滞区域（108）排出的交换流体被送到交换流体注入装置，用于注入到通路（104）中。

5.如权利要求3或4所述的设备，其特征在于，所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成以一定的流速将交换流体注入到通路（104）中，在所述一定的流速下流过通路的交换流体在停滞区域（108）中停滞。

6.如权利要求1-5中任一项所述的设备，其特征在于，所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成以与外部气氛压力和加工空间压力中较小那个压力基本相等的静压注入交换流体。

7.如权利要求1-6中任一项所述的设备，其特征在于，所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成以与外部气氛压力和加工空间压力之间的差值的绝对值基本相等的动态压力注入交换流体。

8.如权利要求1-7中任一项所述的设备，其特征在于，所述通路（104）在通路方向（P）延伸，且所述交换流体注入装置（114、124；112、122）配置成实现与所述通路方向基本平行的层状的交换流体流动。

9.如权利要求1-8中任一项所述的设备，其特征在于，所述通路（104）被至少上通路壁（110）和下通路壁（120）所界定，所述上通路壁和下通路壁都设置有至少一个交换流体注入通道（112、122），上通路壁（110）中的所述至少一个交换流体注入通道（112）配置成提供上交换流体支承，而下通路壁（120）中的所述至少一个交换流体注入通道（122）配置成提供下交换流体支承，所述交换流体支承配置成以漂浮状态支承并容纳它们之间的基材（10）。

10.如权利要求1-9中任一项所述的设备，其特征在于，所述压力调节装置配置成维持加工空间气氛压力高于外部气氛压力。

11.如权利要求1-10中任一项所述的设备，其特征在于，该设备还包含：

-加工隧道，所述加工隧道包含下隧道壁（220）、上隧道壁（210）以及两个横向隧道壁，其中所述隧道壁一起界定了加工空间（202），所述加工空间（202）在隧道方向延伸并被配置成容纳至少一个朝向平行于上隧道壁与下隧道壁的基本为平面的基材（10）；以及

-设置在上隧道壁中的第一组多个气体注入通道（212），以及设置在下隧道壁中的第二组多个气体注入通道（222），其中所述在上隧道壁中的气体注入通道配置成提供上气体支承，而所述在下隧道壁中的气体注入通道配置成提供下气体支承，所述气体支承配置成以漂浮状态支承并容纳它们之间的所述基材（10）。