[发明专利]集成式机电致动器

权利要求书

1.一种集成式机电致动器（1），包括：

-致动器电极，在所述致动器电极之间具有静电致动器间隙，

-接触电极，在所述接触电极之间具有电接触间隙，

其中在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。

2.根据权利要求1的集成式机电致动器，

其中所述电接触间隙的厚度等于牺牲层的厚度。

3.根据权利要求1和2的集成式机电致动器，

其中所述静电致动器间隙的间隙（g_A）取决于所述电接触间隙的厚度（g₀）和所述倾斜角（α），如下所示：

g_A=g₀·cos(α)。

4.根据权利要求1至3的集成式机电致动器，

其中所述机电致动器（1）包括：

面内致动器，

面外致动器，或

垂直致动器。

5.根据权利要求1至4的集成式机电致动器，

其中所述接触间隙的厚度（g₀）在5-50纳米的范围内。

6.根据权利要求1至5的集成式机电致动器，

其中所述倾斜角（α）在15-60度的范围内。

7.根据权利要求1至6的集成式机电致动器，

其中所述机电致动器（1）包括至少一个机电开关。

8.根据权利要求7的集成式机电致动器，

其中在所述机电开关的已致动切换状态下，所述接触间隙闭合，以及

其中在所述机电开关的未致动切换状态下，所述接触间隙未闭合。

9.根据权利要求8的集成式机电致动器，

其中在所述机电开关的已致动切换状态下，固定到接触电极（4、5）的结构化接触梁（6、7）弯曲以响应由所述结构化接触梁（6、7）与致动器电极（2）之间的电场产生的静电力。

10.根据权利要求9的集成式机电致动器，

其中所述结构化接触梁（6、7）包括：

挠性部分（6A、7A），其固定到所述接触电极（4、5），以及刚性部分（6B、7B），其连接到所述挠性部分并在其远端具有电接触表面（6C、7C），所述电接触表面（6C、7C）通过所述电接触间隙而与另一接触电极（3）的电接触表面分隔开。

11.根据权利要求10的集成式机电致动器，

其中所述结构化接触梁（6、7）的所述挠性部分（6A、7A）包括在0.1至10牛/米的范围内的弹性常数。

12.根据权利要求7的集成式机电致动器，

其中所述机电致动器（1）包括：

输入电极（2），其用于施加输入电压，

输出电极（3），其用于提供输出电压，

第一供给电压电极（4），第一结构化接触梁（6）固定到该第一供给电压电极（4），

第二供给电压电极（5），第二结构化接触梁（7）固定到该第二供给电压电极（5），

其中如果施加于所述输入电极（2）的输入电压对应于所述第一供给电压，则固定到所述第二供给电压电极（5）的所述第二结构化接触梁（7）弯曲以响应由所述第二结构化接触梁（7）与所述输入电极（2）之间的电场产生的静电力，以便在所述第二供给电压电极（5）和所述输出电极（3）之间提供接触，

其中如果提供给所述输入电极（2）的输入电压对应于所述第二供给电压，则固定到所述第一供给电压电极（4）的第一结构化接触梁（6）弯曲以响应由所述第一结构化接触梁（6）与所述输入电极（2）之间的电场产生的静电力，以便在所述第一供给电压电极（4）和所述输出电极（3）之间提供接触。

13.一种用于制造集成式机电致动器（1）的方法，所述集成式机电致动器（1）包括：

-致动器电极，在所述致动器电极之间具有静电致动器间隙、

-接触电极，在所述接触电极之间具有电接触间隙，

其中在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角（α）的倾斜，

其中每个间隙优选地通过蚀刻具有与所述间隙的厚度对应的厚度的牺牲层来形成。