[发明专利]辊涂机

权利要求书

1.一种辊涂机，包括：

计量辊和施涂辊，其中所述计量辊和施涂辊的旋转轴彼此平行，并被布置成在所述计量辊与所述施涂辊之间产生间隙；

与所述间隙流体连通的储槽；

被布置成接收在所述辊涂机的操作期间产生的废流体的废物容器；

用于运输来自所述废物容器的废流体的导管；和

一个或多个被布置成向所述废流体里赋予能量的换能器。

2.根据权利要求1所述的辊涂机，其中所述换能器为超声波换能器。

3.根据权利要求1所述的辊涂机，其中所述一个或多个换能器沿导管布置，所述导管与所述废物容器和所述储槽流体连通。

4.根据权利要求1所述的辊涂机，其中两个或更多个所述换能器产生第一频率，并被布置成在所述废流体中产生相位干扰。

5.根据权利要求4所述的辊涂机，进一步包括两个或更多个附加换能器，其中所述附加换能器产生不同的第二频率，并被布置成在所述废流体中产生相位干扰。

6.根据权利要求2所述的辊涂机，其中所述超声波换能器的操作频率在约20KHz与约200MHz之间。

7.一种辊涂机预防性维护模块，包括具有啮合表面的清洁单元，所述啮合表面被成形成基本上啮合辊涂机的施涂辊、计量辊或驱动辊的弯曲表面的整个长度，其中所述啮合表面包括一个或多个冲洗孔和一个或多个抽吸孔。

8.根据权利要求7所述的模块，其中所述啮合表面进一步包括一个或多个刷。

9.根据权利要求8所述的模块，其中所述一个或多个刷是布置在所述冲洗孔与抽吸孔之间的固定刷。

10.根据权利要求8所述的模块，其中所述一个或多个刷是具有旋转轴的旋转刷，当所述模块啮合所述辊时，所述旋转轴平行于所述施涂辊、计量辊或驱动辊的轴。

11.根据权利要求8所述的模块，其中包括至少两个刷，其中所述刷是导电的。

12.根据权利要求11所述的模块，进一步包括DC电压源，其中一个所述刷电连接于所述DC电压源的正端，且所述另一个刷电连接于所述DC电压源的负端。

13.一种辊涂机系统，包括容纳权利要求1所述的辊涂机的室。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述室内的温度、压力和气体含量中的至少之一受控。

15.根据权利要求13所述的系统，其中所述室内的温度、压力和气体含量受控。

16.根据权利要求13所述的系统，进一步包括权利要求7所述的预防性维护模块。

17.根据权利要求13所述的系统，进一步包括至少两个权利要求7所述的预防性维护模块。

18.根据权利要求17所述的系统，其中一个所述预防性维护模块被布置成啮合所述施涂辊，且另一个所述预防性维护模块被布置成啮合所述计量辊。

19.一种将薄膜施加于基板的方法，包括使基板在权利要求1-6中任一项所述的辊涂机的施涂辊与驱动辊之间通过，其中所述储槽含有要施加于所述基板的涂布溶液。

20.一种将薄膜施加于基板的方法，包括使基板在权利要求13-18所述的辊涂机系统的施涂辊与驱动辊之间通过，其中所述储槽含有要施加于所述基板的涂布溶液。