[发明专利]用于控制金属电镀镀液效率的装置和方法

权利要求书

1.一种用于测试包含在槽(2)中的金属电镀镀液(3)的效率的测试装置，所述槽尤其处于生产电镀工件的条件，所述测试装置包括分别为阳极(5)和阴极(6)并连接到电流发生器(4)的电极，所述阴极(6)由多个独立的样本(9)组成，所述样本能够浸没在所述金属电镀镀液中并由电源单元(11)供电，所述电源单元是可控的并连接到所述电流发生器(4)，所述电源单元包括用于调整流过所述阴极样本的电流的电流调整机构(12)，使得在每一个所述样本中流过给定的电流，所述装置的特征在于，所述独立的阴极样本(9)悬挂到位于所述槽(2)中的金属镀液(3)上方的样本夹(10)上，使得实际上只有所述阴极样本浸没在所述镀液中。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述样本夹(10)可以垂直移动，以相对于所述槽降低和提升所述阴极样本，并且使所述阴极样本在所述槽的所述镀液中在水平方向上移动。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的测试装置，其中，可变电阻(14)为每个阴极样本(9)定义了所述电源单元(11)的所述电流调整机构(12)，所述可变电阻(14)一端连接到所述电流发生器，其另一端连接到相应的所述阴极样本。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，在每个所述可变电阻(14)以及与其相应的所述阴极样本(9)之间提供了仪器(17)，该仪器(17)用于测量流入所述阴极样本的电流，所述仪器是安培表或类似的仪器。

5.根据权利要求1至4中任何一项所述的测试装置，其中，所述独立的阴极样本(9)具有同样的尺寸并为盘状。

6.根据权利要求1至5中任何一项所述的测试装置，其中，用于搅拌所述金属镀液的搅拌机构(18)与所述槽相连。

7.根据权利要求1至6中任何一项所述的测试装置，其中，为所述槽中的所述金属镀液提供了平行栅或板(7)形式的两个阳极(5)，所述阴极样本(9)布置在所述两个阳极之间。

8.根据权利要求1至7中任何一项所述的测试装置，其中，所述独立的阴极样本任意地布置在所述金属镀液中，或者在所述金属镀液中对齐，并在同一水平面上均匀地彼此间隔。

9.一种用于测试包含在槽(2)中的金属电镀镀液(3)的效率的方式，所述槽尤其处于生产电镀工件的条件，所述方法的特征在于，其采用在权利要求1至8中的任何一项定义的测试装置(1)，并包括以下步骤：

在将所述独立的阴极样本(9)放置在所述测试装置的可移动样本夹(10)上之前对所述独立的阴极样本(9)进行称重；

将所述阴极样本悬挂到所述样本夹上；

将悬挂的所述阴极样本(9)浸没在所述电镀金属镀液中；

使所述阴极样本独立地受到选择的可调电流的作用；

一旦已经在所述阴极样本上沉积了金属覆层，采用所述可移动的样本夹将所述阴极样本从所述金属镀液中移出；以及

对带覆层的所述阴极样本(9)进行称重，以确定沉积在每个所述阴极样本上覆层的重量。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，在对带覆层的所述阴极样本(9)进行称重之后，对每个被测的所述金属镀液制作效率曲线图，这些曲线图示出了作为每个样本中的电流密度函数的沉积率，以及，如果需要，采用在所述金属镀液的测试过程中所获得的效率曲线图来改变金属镀液参数中的至少一个，以在最优的生产条件下在工件上沉积覆层。