[发明专利]用于控制光带宽的方法和设备

说明书

技术领域

所公开的主题涉及用于控制激光带宽的方法。

背景技术

对诸如激光器之类的光源的带宽的准确了解在许多科学和工业应用中是重要的，诸如，例如，对于深紫外光（DUV）半导体光刻中的临界尺寸控制，其中，当衬底或晶片沿着光束的光轴轴向地移动时，通过由光源所产生的光束照射衬底或晶片。

激光的带宽是从激光器输出的激光的强度谱的宽度，此宽度可以以激光的波长或频率给出。可以使用涉及光源谱的细节的任何合适的尺度或数学结构来估计激光的带宽。例如，可以使用在最大峰值强度的分数（X）时的光谱全宽（被称为FWXM）来估计激光带宽。作为另一个示例，可以使用包含集成光谱强度的分数（Y）的光谱宽度（被称为EY）来估计激光带宽。

发明内容

在一个一般性的方面，一种方法包括产生光束；在第一带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第一带宽致动系统的激活和控制，所述第一带宽致动系统连接到第一光学特征，所述第一光学特征以光学方式耦合到所产生的光束；以及，在第二带宽范围内启用对所产生的光束的带宽的控制，包括启用对第二带宽致动系统的激活和控制，所述第二带宽致动系统连接到第二光学特征，所述第二光学特征以光学方式耦合到所产生的光束。第二带宽范围不同于第一带宽范围。

各实现可包括下列特征中的一个或多个。例如，该方法也可以包括接收将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求。该方法可包括响应于切换命令，在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。

该方法可包括在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。该切换包括选择第二目标带宽信息；将所述第一带宽致动系统设置为第一固定状态；将带宽测量系统从第一配置切换到第二配置；当在所述第二配置中进行操作时，从所述带宽测量系统接收测量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第二目标带宽信息；以及，激活所述第二带宽致动系统，以使所述第二光学特征修改所产生的光束的带宽，直到确定所述测量到的带宽信息匹配于所述第二目标带宽信息为止。该方法可包括在将所述第一带宽致动系统设置为所述第一固定状态之前，存储有关所述第一带宽致动系统的一个或多个组件的状态的信息。

第一固定状态可以是当接收到将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态。第一固定状态可以是根据当接收到将所产生的光束的带宽从第一带宽范围改变为第二带宽范围的请求时所述第一带宽致动系统的状态的函数而确定的。

该方法可包括控制所述第二带宽致动系统，以降低所述测量到的带宽信息和所述第二目标带宽信息之间的绝对误差，直到接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求为止。

该方法可包括在将所述带宽测量系统从所述第一配置切换到所述第二配置之后，以重置模式来控制所述第二带宽致动系统。

该方法可包括在接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围时，在所述第二范围内的带宽控制与所述第一范围内的带宽控制之间切换。切换包括选择第一目标带宽信息；将所述第二带宽致动系统设置为第二固定状态；将所述带宽测量系统从所述第二配置切换到所述第一配置；当在所述第一配置中进行操作时，从所述带宽测量系统接收测量到的带宽信息；确定所述测量到的带宽信息是否匹配于所述第一目标带宽信息；以及激活所述第一带宽致动系统，以使所述第一光学特征修改所产生的光束的所述带宽，直到确定所述测量到的带宽信息匹配于所述第一目标带宽信息为止。

第二固定状态可以是当接收到将所产生的光束的带宽从所述第二带宽范围改变为所述第一带宽范围的请求时所述第二带宽致动系统的所述状态。第二固定状态可以是在校准期间预先确定的状态。

该方法也可以包括控制所述第一带宽致动系统，以降低所述测量到的带宽信息和所述第一目标带宽信息之间的绝对误差，直到接收到将所产生的光束的带宽从所述第一带宽范围改变为所述第二带宽范围的请求为止。该方法也可以包括向所述带宽致动系统发送信号以返回到在将所述第一带宽致动系统设置为所述第一固定状态之前所存储的状态。该方法也可以包括在将所述带宽测量系统从所述第二配置切换到所述第一配置之后，以重置模式来控制所述第一带宽致动系统。

该方法可包括在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换。在第一范围内的带宽控制和第二范围内的带宽控制之间进行切换可包括将带宽测量系统从第一配置切换到第二配置。