[发明专利]用于金属硫化物层的湿化学沉积的浴沉积溶液及相关生产方法有效
申请号: | 201180017116.0 | 申请日: | 2011-01-27 |
公开(公告)号: | CN103025916A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | L.比克特;D.哈里斯科斯;T.科尔布;B.施内尔 | 申请(专利权)人: | 曼茨CIGS科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12;H01L21/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 石克虎;林森 |
地址: | 德国施韦*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 金属 硫化物 化学 沉积 溶液 相关 生产 方法 | ||
1. 用于金属硫化物层的湿化学沉积的浴沉积溶液,特征在于它包含:
-金属盐,
-有机硫化物,
-螯合剂,其与金属盐的金属离子形成螯合络合物,和
-氢氧化铵。
2. 权利要求1的浴沉积溶液,进一步的特征在于所述金属盐是Zn和/或In盐,和/或所述有机硫化物是硫代乙酰胺,和/或所述螯合剂是次氮基-三乙酸或者亚氨基二乙酸或者其金属盐。
3. 权利要求1或者2的浴沉积溶液,进一步的特征在于所述金属盐的存在浓度是大约1mM-大约50mM,和/或所述有机硫化物的存在浓度是大约1mM-大约150mM,和/或所述螯合剂的存在浓度是大约0.01M-大约1.0M,和/或所述氢氧化铵的存在浓度是大约0.01M-大约3.0M。
4. 权利要求1-4中任一项的浴沉积溶液,进一步的特征在于它的pH值处于碱性范围到中性范围。
5. 生产用于湿化学沉积金属硫化物层的浴沉积溶液的方法,特征在于将金属盐,有机-硫化物,螯合剂和氢氧化铵在蒸馏水中混合,其中所述螯合剂与金属盐的金属离子形成螯合络合物。
6. 权利要求5的方法,进一步的特征在于使用Zn和/或In盐作为金属盐,和/或使用硫代乙酰胺作为有机-硫化物,和/或使用次氮基三乙酸或者亚氨基二乙酸或者其金属盐作为螯合剂。
7. 权利要求5或者6的方法,进一步的特征在于所述金属盐的加入浓度是大约1mM-大约50mM,和/或所述有机硫化物的加入浓度是大约1mM-150mM,和/或所述螯合剂的加入浓度是大约0.01M-1.0M,和/或所述氢氧化铵的加入浓度是大约0.01M-3.0M。
8. 权利要求5-7中任一项的方法,进一步的特征在于将所述浴沉积溶液的pH设定为碱性范围到中性范围。
9. 在基材上生产金属硫化物层的方法,其包括下面的步骤:
-提供权利要求1-4任一项的浴沉积溶液,和
-通过将基材与该浴沉积溶液接触,将金属硫化物层湿化学沉积到所述基材上。
10. 权利要求9的方法,进一步的特征在于将所述湿化学沉积进行最多大约10分钟,特别是最多大约4分钟的时间,来实现大约25nm的金属硫化物层层厚。
11. 权利要求9或10的方法,进一步的特征在于在湿化学沉积过程中,将所述浴沉积溶液保持在大约40℃-大约90℃的温度。
12. 权利要求9-11中任一项的方法,进一步的特征在于将硫化锌缓冲层作为金属硫化物层沉积到光伏吸收剂层基材上。
13. 权利要求9-12中任一项的方法,进一步的特征在于所述基材与浴沉积溶液的接触包括:将该基材浸入到浴沉积溶液中,或者用该浴沉积溶液平面润湿或者喷涂该基材。
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