[发明专利]用于形成压电超声换能器的方法和相关的设备

权利要求书

1.一种形成压电超声换能器设备的方法，所述方法包括：

在设置在装置基板上的介电层上形成换能器装置，所述装置基板进一步设置在主基板上，所述换能器装置包括设置在所述介电层上的第一电极和设置在所述第一电极和第二电极之间的压电材料；

将载体基板结合到与所述第一电极相对的所述换能器装置的所述第二电极；

移除所述主基板；

蚀刻所述装置基板和所述介电层以限定延伸到所述第一电极的第一通孔；

沉积第一导电材料以基本上填充所述第一通孔；

使支撑构件与所述装置基板和所述第一导电材料接合；

将所述载体基板从所述换能器装置上移除；

蚀刻所述支撑构件以限定延伸到所述装置基板和所述第一导电材料的第二通孔；以及

将第二导电材料沉积在限定所述第二通孔的所述支撑构件、所述装置基板和所述第一导电材料上，使得所述第二导电材料与所述第一导电材料形成导电接合。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，接合支撑构件还包括将支撑基板结合到所述装置基板和所述第一导电材料，并且所述方法还包括将绝缘材料沉积在所述支撑基板上，在蚀刻所述支撑构件以限定所述第二通孔之后和沉积所述第二导电材料之前，所述绝缘材料延伸进入所述第二通孔到所述装置基板。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，蚀刻所述支撑构件以限定所述第二通孔和将所述绝缘材料沉积在所述支撑基板上在将所述支撑构件与所述装置基板接合之前进行。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，接合支撑构件还包括将绝缘材料沉积在所述装置基板和所述第一导电材料上。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括蚀刻所述装置基板以限定延伸到所述介电层的隔离通孔，所述隔离通孔横向设置在相邻的换能器装置之间，以便在所述相邻的换能器装置彼此之间进行电气隔离和声隔离中的至少一种。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括将介电材料沉积在所述隔离通孔内。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压电材料被构造使得所述第一电极从其横向向外延伸，并且其中，形成换能器还包括在将所述第二电极沉积在所述压电材料和所述层间介电材料上之前将层间介电材料沉积在所述第一电极上，使得所述层间介电材料的至少一部分设置在所述第一和第二电极之间。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，形成换能器还包括形成换能器使得所述第一电极被构造为信号电极，所述第二电极被构造为接地电极，并且所述第一和第二电极由导电材料构成。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，将所述载体基板结合到所述第二电极还包括用设置在两者间的粘结材料将所述载体基板结合到所述第二电极。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，蚀刻所述支撑构件以限定所述第二通孔还包括蚀刻所述支撑构件使得所述支撑构件形成限定所述第二通孔的侧壁，所述侧壁延伸到且暴露所述装置基板，所述暴露的装置基板进一步限定第二通孔端壁，并且所述第一导电材料相对于所述第二通孔端壁远离所述侧壁设置。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，蚀刻所述支撑构件以限定所述第二通孔还包括蚀刻所述支撑构件使得所述第一导电材料相对于所述第二通孔端壁远离所述侧壁居中设置。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括在移除所述载体基板之前将所述支撑构件减薄。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，沉积所述第二导电材料还包括将所述第二导电材料沉积在所述支撑构件上使得所述第二导电材料从所述第二通孔向外延伸，所述第二导电材料因此适合与外部装置形成导电接合。