[发明专利]机电装置的机械层及其形成方法

权利要求书

1.一种机电装置，其包括：

衬底；

部分反射光学堆叠，其安置于所述衬底上；及

可移动机械层，其经定位以使得所述部分反射光学堆叠在所述机械层与所述衬底之间，所述机械层包含反射层、导电层及安置于所述反射层与所述导电层之间的支撑层，其中所述支撑层锚定于所述光学堆叠上处于光学非作用锚定区中且从所述锚定区远离所述光学堆叠延伸，从而使所述机械层与所述光学堆叠间隔开以在所述机械层与所述光学堆叠之间界定可收缩间隙，

其中所述机械层可通过跨越所述机械层及安置于所述衬底与所述可收缩间隙之间的固定电极施加电压而移动到激活位置及松弛位置，且其中所述可收缩间隙在所述机械层处于所述激活位置时处于收缩状态，且所述间隙在所述机械层处于所述松弛位置时处于非收缩状态。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述机械层进一步包含邻近于所述锚定区且在光学非作用区的至少一部分中安置的纽结。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述机械层中的所述纽结包含远离所述间隙延伸的上升部分及朝向所述间隙延伸的下降部分。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述反射层及所述导电层包含铝合金。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑层包含电介质材料。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述支撑层包含氧氮化硅(SiON)。

7.根据权利要求5所述的装置，其中所述支撑层的一部分延伸超过所述反射层且朝向所述光学堆叠延伸，且其中所述支撑层在所述锚定区中接触所述光学堆叠。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑层的厚度在大约与大约之间。

9.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括电介质层，所述电介质层安置于所述机械层上，使得所述机械层在所述电介质层与所述可收缩间隙之间。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述电介质层的厚度在大约与大约之间。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述反射层包含具有在大约与大约之间的厚度的铝-铜(AlCu)层。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述导电层包含具有在大约与大约之间的厚度的AlCu层。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述纽结的高度尺寸在大约与大约之间。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述纽结的宽度尺寸在大约0.2μm与大约5μm之间。

15.根据权利要求1所述的装置，其中所述光学堆叠包含所述固定电极。

16.根据权利要求1所述的装置，其中所述光学堆叠、所述机械层的所述反射层及所述可收缩间隙形成干涉式调制器。

17.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括：

显示器，其包含所述衬底、所述光学堆叠及所述机械层；

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

18.根据权利要求17所述的装置，其进一步包括经配置以将至少一个信号发送到所述显示器的驱动器电路。

19.根据权利要求18所述的装置，其进一步包括经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路的控制器。

20.根据权利要求17所述的装置，其进一步包括经配置以将所述图像数据发送到所述处理器的图像源模块。

21.根据权利要求20所述的装置，其中所述图像源模块包含接收器、收发器及发射器中的至少一者。

22.根据权利要求17所述的装置，其进一步包括经配置以接收输入数据且将所述输入数据传递到所述处理器的输入装置。