[发明专利]基板匣、基板保管装置及基板处理系统

说明书

技术领域

本发明是关于一种基板匣、基板保管装置及基板处理系统。

本申请是根据2010年4月9日申请的美国临时申请61/322360号及2010年12月15日申请的美国临时申请61/423207号主张优先权，并将其内容援引于此。

背景技术

作为构成显示器装置等显示设备的显示组件，例如有液晶显示组件、有机电致发光(有机EL)组件。目前，这些显示组件是以与各像素对应在基板表面形成薄膜晶体管(Thin Film Transistor：TFT)的主动组件(Active device)渐为主流。

近年来，提出了一种在片状的基板(例如薄膜构件等)上形成显示组件的技术。作为此种技术，例如有一种被称为滚动条对滚动条(roll to roll)方式(以下，简记为“滚动条方式”)者广为人知(例如，参照专利文献1)。滚动条方式，是将卷绕在基板供应侧的供应用滚筒的一片的片状基板(例如，带状的薄膜构件)送出、并一边将送出的基板以基板回收侧的回收用滚筒加以卷绕一边借助设置在供应用滚筒与回收用滚筒之间的处理装置对基板施加所欲加工。

在基板送出至被卷绕为止的期间，例如一边使用多个搬送滚筒等搬送基板、一边使用多个处理装置(单元)来形成构成TFT的栅极电极、栅极绝缘膜、半导体膜、源极－漏极电极等，在基板的被处理面上依序形成显示组件的构成要件。例如，在形成有机EL组件的情形时，是于基板上依序形成发光层、阳极、阴极、电路等。

在将卷绕于回收滚筒的基板送出时，在卷绕时原本最末端的部分成为前端而送出基板。因此，在对基板反复进行图案形成等的情形，在基板的卷绕时与基板的送出时，必须考虑使图案形成处理的顺序相反。如上述，必须每次管理基板的前端与最末端，因此会有管理上的负担变大的情形。

专利文献1：国际公开第2006／100868号小册子

发明内容

在滚动条对滚动条方式中，由于基板一片的长度长，因此谋求减轻基板管理的负担。

本发明的形态的目的在于提供一种能减轻基板管理上的负担的基板管理装置、基板匣及基板处理系统。

一形态的基板匣，具备：收容部，收容形成为带状的基板；搬出口，是设于该收容部，用以将基板搬出；搬入口，是设于收容部，用以将基板搬入；以及导引部，将收容于收容部的基板的前端部从该搬入口导引至搬出口。

一形态的基板处理系统，具备：本发明第一形态的基板匣；以及基板处理装置，具有与该基板匣连接的连接部。

一形态的基板保管装置，是将形成为带状且具有挠性的基板在长边方向多次折返并保持，其特征在于，具备：第一折返部，是以基板的表面彼此面对的方式将该基板折返；第二折返部，是以基板中的相对于第一折返部折返至一侧的第一部分的背面彼此面对的方式将第一部分折返；方向转换部，是使基板中的借助第二折返部折返至与第一折返部相反侧的第二部分朝向第一折返部方向转换；以及第三折返部，是以基板中的被方向转换部方向转换后的第三部分的一部分沿着基板中的借助第一折返部折返至第一部分的另一侧的第四部分的表面或背面的方式将第三部分折返。

根据本发明的形态，能减轻基板管理上的负担。

附图说明

图1是显示第一实施形态的基板匣的构成的图。

图2是显示本实施形态的基板匣的构成的图。

图3是显示本实施形态的基板匣的一部分的构成的图。

图4是显示本实施形态的基板处理系统的构成的图。

图5是显示本实施形态的基板处理系统的一部分的动作的图。

图6是显示本实施形态的基板处理系统的一部分的动作的图。

图7是显示第二实施形态的基板匣的构成的图。

图8是显示本实施形态的基板匣的构成的图。

图9A是显示基板匣的另一构成的图。

图9B是显示基板匣的另一构成的图。

图10是显示基板匣的另一构成的图。

图11A是显示基板匣的另一构成的图。

图11B是显示基板匣的另一构成的图。

图11C是显示基板匣的另一构成的图。

图11D是显示基板匣的另一构成的图。

图12A是显示基板匣的另一构成的图。

图12B是显示基板匣的另一构成的图。

图13A是显示基板匣的另一构成的图。

图13B是显示基板匣的另一构成的图。

图14是显示基板匣的另一构成的图。

图15是显示基板处理系统的另一构成的图。