[发明专利]旋流形成体及非接触式运送装置

说明书

技术领域

本发明涉及旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器（LCD）和/或等离子显示器（PDP）等FPD（平板显示器）和/或太阳能电池板（太阳能板）等的生产中使用的轨道状的非接触式运送装置及构成该非接触式运送装置的旋流形成体。

背景技术

以往，在FPD和/或太阳能电池板等的生产时，采用了通过使一个面板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶玻璃的情况下，第十代可成为2850×3050×0.7mm的大小。因此，当如以往那样在排列多个的辊上装载液晶玻璃来滚动运送时，会因支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度的波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，有可能损伤液晶玻璃。

上述由辊形成的滚动运送装置，在要求该装置与面板之间是非接触的、例如FPD的处理工序中不能采用，近年来，正在开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触式运送装置，有在板状的轨道的一部分使用多孔质材料并通过使其与供气路径连通来供气、从而通过喷出空气将FPD浮起运送的装置。但是，当使用该装置时，FPD成为一边在上下方向上运动一边浮游的状态，因此虽然可在运送工序中使用，但是却无法在例如要求30~50μm的高精度的浮起高度的处理工序中采用。

此外，如果在使用上述多孔质材料的板状的轨道上设置抽真空用的孔，则装置的构成变复杂，装置自身变得高价，并且，当为了高精度地维持浮起高度而提高供气压力时，发生高刚性空气的压缩性涉及的激励振动，存在不能高精度地保持浮起高度这样的问题。

再有，虽然也存在与抽真空用的孔交替地穿设节流孔（小径的孔）来代替多孔质材料的装置，但是，存在因来自节流孔的较强的喷出空气而产生静电或者弄乱净室的环境，消耗流量增大而使运转成本增高这样的问题。

于是，在专利文献1中，作为流体流量及能量消耗量减少且可高精度地维持浮起高度的非接触式运送装置，提出了如下装置：在基体的运送面上具备两个以上旋流形成体，该旋流形成体通过从流体喷出口喷出流体产生朝向从环状部件的表面侧离开的方向的旋流，并且在环状部件的表面侧的开口部附近产生朝向背面方向的流体流。

现有技术文献

专利文献1：国际公开第2009/119377号小册子。

发明内容

发明所要解决的问题

在上述专利文献1记载的非接触式运送装置中，在形成于基体的运送面的凹部收置旋流形成体，通过突出设置于凹部周围的隆起部敛缝接合该旋流形成体的外周面，因此，将旋流形成体向基体安装需要很长时间而导致非接触式运送装置的制造成本上升，并且在将旋流形成体敛缝接合于基体时，旋流形成体的安装角度会产生不均或者在旋流形成体和/或基体（轨道）会产生反翘，存在被运送物的浮起高度的精度可能下降的问题。

于是，本发明是鉴于上述现有技术中的问题而研制的，其目的在于提供能够减少非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。

为实现上述目的，本发明一种旋流形成体，其特征在于，具备：碗状的主体，其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部；流体喷出口，其在该主体的形成所述孔部的内表面开口；和流体取入口，其在所述主体的外表面开口且与所述流体喷出口连通，通过从所述流体喷出口喷出流体，在所述主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。

根据本发明，旋流形成体使流体喷出口在碗状的主体的内表面开口，且在外表面具备与流体喷出口连通的流体取入口，因此将该旋流形成体收置于基体的凹部等，且从流体取入口取入流体，由此能够简单地构成非接触式运送装置，能够将非接触式运送装置的制造成本抑制得较低。此外，在将该旋流形成体安装于基体时，将该旋流形成体的主体的外表面压入基体的收置部的内表面，由此能够不会在该主体的外表面与基体的收置部的内表面之间产生流体的泄漏地将该旋流形成体安装于所述基体。

此外，在所述旋流形成体中，所述主体在底面具备突出部，并且具备在所述孔部的开口部的外周缘一体形成的环状凸缘部，该主体具备从该环状凸缘部的外周面向所述底面侧突出且在前端具有卡止突起的多个突出部。根据该构成，能够将旋流形成体用一个工序安装于基体上，能够进一步降低制造成本。此外，在将旋流形成体安装于基体时，不使用以往的敛缝接合，因此旋流形成体的安装角度不会产生不均、旋流形成体及基体产生也不会产生反翘，因此能够较高地维持被运送物的浮起高度的精度。