[发明专利]用于红外线传感器的传感器部件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种传感器部件，包括一个IR敏感的检测器、至少一个辐射IR射束的参考源、以及一个IR敏感的参考检测器。另外，本发明还涉及一种根据权利要求12所述的IR传感器以及一种根据权利要求13所述的用以制造传感器部件的方法。

背景技术

从现有技术已知用于IR传感器的三维结构的传感器部件，其例如在一个作为用于检测器、参考检测器和参考源的载体的半导体衬底上构造。这种传感器部件的制造花费很大，特别是在涉及大批量制造时。

借助MID(Molded Interconnect Device(模制互联设备))技术虽然例如能够通过热冲压、激光结构化、在使用掩膜或者背衬喷射薄膜的情况下制造三维的电子组件，但是用于IR传感器的传感器部件由于仅有很小的尺寸(对于传感器部件总共几个毫米，对于检测器或者参考源也许小于1毫米)，所以在制造大的零件数量的情况下并不可靠。

发明内容

发明目的：

本发明的目的在于，提供一种可按照简单方法制造的用于IR传感器的三维的传感器部件。

发明概述：

根据本发明，上述目的通过一种例如根据权利要求13所述的方法制造的根据权利要求1所述的传感器部件得以实现。

载体可以作为基本上平的二维的坯件提供，在它的第一侧面上设置检测器、至少一个参考源和参考检测器，其中，该载体包括一个在局部区段弯曲的用柔韧材料制成的坯件，特别是包括一个柔性印刷电路板的在局部区段弯曲的坯件，其中，在本方法的进一步实施执行当中通过弯折或弯曲载体本体的一些区段而构成三维的传感器部件。

在柔性印刷电路板上在一个公共的第一侧面上固定检测器、参考检测器以及至少一个参考源，该柔性印刷电路板在大的零件数量的情况下存在，并且已经具有能够彼此连接检测器、参考检测器以及至少一个参考源或者连接后接的电子设备的电气连接。在这种柔性印刷电路板上能够通过粘接固定以及借助压焊电气连接检测器、参考检测器以及至少一个参考源。

优选规定：载体的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段以及一个检测器区段，其中检测器在检测器区段上设置，并且检测器区段从主区段在第二弯曲棱缘处以一个角度特别是基本上成直角旁伸。在执行本方法时，在一个方法步骤中使检测器区段从载体的本体的主区段通过弯曲而旁伸，由此构成第二弯曲棱缘。

优选规定：载体的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段以及一个参考区段，其中参考区段设置在悬伸臂上，其中悬伸臂与主区段连接，并且其中参考区段在第一弯曲棱缘处从悬伸臂以一个角度特别基本成直角旁伸。在执行本方法时，在一个方法步骤中将参考区段通过弯曲在构成第一弯曲棱缘的情况下从悬伸臂旁伸，由此弯曲的悬伸臂保证，围绕第二弯曲棱缘弯曲的检测器区段在入射的射束的方向上与参考区段隔开设置。这里检测器区段和参考区段构成三维的传感器部件的基本平行的、并且在入射的射束的方向上沿载体的本体的主区段的延伸错开的区段，它起先是构造为二维的平的、在其上已经固定了检测器、参考检测器和至少一个参考源的坯件。

优选规定：参考区段具有圆弓形的外形轮廓。圆弓形的外形轮廓保证，参考区段已经完成了制造的传感器部件能够在作为IR传感器的组成部分的套管内容纳。外形轮廓的圆弓的半径对于要弯成环段的悬伸臂的弯曲半径如此选择，即，使得参考区段能够在悬伸臂内部得以容纳。

优选规定：悬伸臂成环段形弯曲。弯曲的悬伸臂在侧向限定传感器部件的边界并且例如以一定的预应力贴靠在一套管的内壁上，传感器部件总体设置在该套管中。

优选规定：悬伸臂基本上构造成L形，其中，在短臂的一端设置参考区段，并且在长臂的一端设置主区段。悬伸臂的L形的结构保证：参考区段在构成第一弯曲棱缘以及在将悬伸臂的长区段弯曲成环段后对于检测器区段基本上平行地并且在入射的射束的方向上错开地设置。

优选规定：传感器部件包括一个镜面元件，其中该镜面元件在载体的与载体的第一侧面相对的第二侧面上与参考检测器以及上述至少一个参考源相对设置。关于该镜面元件优选规定：该镜面元件在检测器区段的与检测器相对的侧面上设置。关于该镜面元件特别优选规定：该镜面元件通过载体的一个材料区段、特别是通过一个包括一金属层的柔性印刷电路板的一个剥露的金属区段构成。

优选规定：主区段具有横向于它的延伸方向的弯度。载体的本体的具有弯度的主区段加固了传感器部件，并且例如能够贴靠于在其内容纳该传感器部件的套管上，以便构成IR传感器。