[发明专利]排气泵

权利要求书

1.一种排气泵，具备：

筒形旋转部件；

支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；

驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；

外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；

内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；

螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；

螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；

连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；

其特征在于，

在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙是在该间隙中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。

2.如权利要求1所述的排气泵，其特征在于，

通过比上述最下段的旋转翼还要下游的上述筒形旋转部件是在形成有上述连通开口部的位置处向远离上述最下段的旋转翼的方向而倾斜的向下梯度的锥形状，上述最下段的旋转翼与上述连通开口部上游端之间的间隙使其成为上述尺寸以上。

3.一种排气泵，具备：

筒形旋转部件；

支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；

驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；

外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；

内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；

螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；

螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；

连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；

其特征在于，

在比上述连通开口部还要上游的上述筒形旋转部件的外周上以多段设置的多个旋转翼中的最下段的旋转翼与相邻于该旋转翼的旋转翼之间的开口区域是在该开口区域中用来开设上述连通开口部的工具能够插入的尺寸以上。

4.一种排气泵，具备：

筒形旋转部件；

支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；

驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；

外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；

内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；

螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；

螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；

连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；

其特征在于，

上述多个连通开口部的位置相对于排气泵的泵轴心点对称地配置。

5.一种排气泵，其特征在于，具备：

筒形旋转部件；

支承机构，将上述筒形旋转部件可绕其轴心旋转地支承；

驱动机构，将上述筒形旋转部件旋转驱动；

外侧筒形固定部件，对上述筒形旋转部件的外周成包围之状而配置；

内侧筒形固定部件，被上述筒形旋转部件的内周成被包围之状而配置；

螺旋状的外侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述外侧筒形固定部件之间；

螺旋状的内侧螺纹槽排气通路，设在上述筒形旋转部件与上述内侧筒形固定部件之间；

连通开口部，开设在上述筒形旋转部件上，将存在于该筒形旋转部件的外周附近的气体的一部分引导进上述内侧螺纹槽排气通路；

加强机构，设在上述筒形旋转部件上，将上述连通开口部周边加强。