[发明专利]超声波传感器机组及超声波探测器无效
| 申请号： | 201180020031.8 | 申请日： | 2011-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN102884814A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 李昇穆 | 申请（专利权）人： | 株式会社意捷莫斯尔 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;A61B8/00;G01N29/24 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 王吉勇 |
| 地址： | 日本国大阪府和泉市艾友密*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波传感器 机组 超声波 探测器 | ||
1.一种超声波传感器机组，其在基板上设置有多个超声波传感器，所述超声波传感器具有：设置于绝缘性基板的上面的基板侧电极；和与所述基板侧电极向对地配置、且具有导电性的振动膜，其特征在于，
所述超声波传感器：
具有在所述基板的上面形成的凹槽部；
所述基板侧电极被设置于所述凹槽部的底部；
所述振动膜设置成以覆盖所述凹槽部。
2.根据权利要求１所述的超声波传感器机组，其特征在于：
所述振动膜，通过静电引力和化学结合被固定于所述超声波传感器的凹槽部之间的区域部。
3.根据权利要求２所述的超声波传感器机组，其特征在于：
所述基板侧电极被埋设于所述凹槽部的底部；
在所述区域部，形成连接所述超声波传感器的凹槽部之间的槽沟；
在所述槽沟和所述凹槽部的底部，埋设连接所述超声波传感器的基板侧电极之间的连接电极。
4.根据权利要求２所述的超声波传感器机组，其特征在于：
所述基板侧电极凸出设置在所述凹槽部的底部；
在所述区域部，形成连接所述超声波传感器的凹槽部之间的槽沟；
在所述槽沟与所述凹槽部的底部，凸出设置连接所述超声波传感器的基板侧电极之间的连接电极。
5.根据权利要求3或权利要求4所述的超声波传感器机组，其特征在于：
在所述振动膜，对准所述槽沟位置处形成有贯通孔；
在所述振动膜的另一面，形成由被蒸镀的蒸镀物形成的保护膜；
在所述槽沟的内側，形成介于所述贯通孔由被蒸镀的蒸镀物形成的、且隔离相邻的超声波传感器的隔离膜。
6.根据权利要求5所述的超声波传感器机组，其特征在于：
所述振动膜，通过阳极接合法固定于所述区域部。
7.根据权利要求6所述的超声波传感器机组，其特征在于：
所述振动膜，由硅单结晶组成。
8.一种超声波探测器，具有权利要求1-７所述的超声波传感器机
组，其特征在于：
使用所述超声波传感器机组，接收发送超声波。
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