[发明专利]用于气体输送系统的涂布的方法

权利要求书

1.一种用于涂布气体输送系统的气体通道的内表面的方法，该气体输送系统被配置成输送气体进入等离子处理系统的腔室，所述方法包括：

(a)使耐腐蚀材料的流体前驱体流动通过所述气体通道，并沉积所述流体前驱体的层以覆盖所述气体通道的所述内表面;

(b)从所述内表面去除过量的流体前驱体;

(c)固化所述流体前驱体的所述沉积层，以形成耐腐蚀的材料涂层。

2.如权利要求1的方法，其中：

所述流体前体包括一种或多种甲基丙烯酸酯;

通过吹入干燥氮气或干燥空气到所述气体通道将过量的流体前驱体去除;

通过在真空烘箱中在至少100℃的温度和在1至10托的压强下烘烤所述气体通道，或通过保持所述气体通道在环境温度和压强下至少24小时，使所述流体前体的所述沉积层固化。

3.如权利要求1所述的方法，进一步包括在使所述流体前驱体流动之前，清洁所述内表面和干燥所述内表面。

4.如权利要求3所述的方法，其中：

用10至20wt.％的硝酸清洁所述内表面持续3分钟，并用去离子水冲洗所述内表面至少5分钟；以及，

通过吹入干燥的氮气或干燥的空气经过所述气体通道，并在真空烘箱中在至少120℃的温度下烘烤所述气体通道，使所述内部表面干燥。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述气体通道在具有0.25英寸或更小的外径的不锈钢管材中。

6.如权利要求5所述的方法，其中，至少一个不锈钢波纹管焊接到所述不锈钢管材中。

7.如权利要求6所述的方法，还包括：

在焊接所述波纹管到所述管材之前，用防止所述流体前驱体粘附的掩蔽剂涂布所述波纹管的所述内表面；以及可选地，在所述固化步骤后，从所述波纹管的所述内表面去除所述掩蔽剂。

8.如权利要求7所述方法，其中，所述掩模剂为光致抗蚀剂、油、硅烷和/或烷氧基硅烷。

9.如权利要求1所述的方法，其中，重复步骤(a)-(c)。

10.如权利要求1所述的方法，其中，所述涂层对含卤素的工艺气体有抗性。

11.如权利要求1所述的方法，其中，所述的耐腐蚀材料涂层具有0.0014至0.0034英寸的厚度。

12.一种配置成输送工艺气体到等离子体处理系统的腔室的气体输送系统，所述气体输送系统包括气体通道，其内表面涂布有通过将沉积在所述内表面的流体前驱体的层固化而形成的耐腐蚀材料涂层。

13.如权利要求12所述的气体输送系统，还包括焊接到其中具有所述气体通路的不锈钢管材的至少一个不锈钢波纹管，且所述波纹管的所述内表面未涂布所述涂层。

14.如权利要求12所述的气体输送系统，其中，所述气体通道是在具有0.25英寸或更小的外径的不锈钢管材中。

15.如权利要求12所述的气体输送系统，其中，所述涂层对含卤素的工艺气体有抗性。

16.一种包括如权利要求12所述的气体输送系统的等离子处理系统，其中，所述气体输送系统输送含卤素的工艺气体到所述等离子体处理系统的腔室中，并且激励所述工艺气体成等离子体以处理支架在所述腔室的单独半导体衬底。

17.如权利要求16所述的等离子体处理系统，其中，所述衬底由所述等离子体蚀刻。