[发明专利]将特征的重复图案写到基板

权利要求书

1.一种方法，该方法包括：

将要被写到基板的不同大小的离散特征的多维图案分割为多个邻接的区域；

为每个区域分配唯一的补偿值集合；以及

响应于所述唯一的补偿值集合，使用写系统的写束将特征写到基板，使得在至少一个区域中的具有相同大小的所有特征利用来自相关集合的相同的补偿值来写入。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：仅单次传送为每一所述区域分配的所述唯一的补偿值集合到控制器，所述控制器耦接到所述写束，并且在相关的存储器中存储被单次传送的所述补偿值集合，以及利用单次传送的所述补偿值集合,使用所述写束将多个邻接的区域中的每一个的多个副本写到所述基板。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述多个邻接的区域包括具有第一特征集合的第一区域和具有不同的、第二特征集合的第二区域，并且其中使用步骤包括：使用来自分配步骤的第一补偿值集合来写在所述第一区域中的所有特征，和使用来自分配步骤的不同的、第二补偿值集合来写在所述第二区域中的所有特征。

4.如权利要求1所述的方法，其中，分配步骤的每个唯一的补偿值集合包括指示将被写到相关区域的多个特征的计数值以及被施加于在该相关区域中的每一所述特征的至少一个记录参数设定值。

5.如权利要求1所述的方法，其中，所述多个邻接的区域包括可寻址的扇区，其中，多个标称相同的额外的扇区将被写到沿着所述基板的被选维度对齐的介质，并且使用步骤包括：利用来自分配步骤的共同的唯一的补偿值集合将所述可寻址的扇区和所述多个标称相同的额外的扇区写到所述介质。

6.如权利要求1所述的方法，还包括：

识别由在其对端的相应的第二区域和第三区域界定的第一区域，所述第一区域具有对应于所述写束的影响区的宽度；

将所述第一区域分割为至少两个子区域；

为所述至少两个子区域中的每一个分配唯一的补偿值集合；以及

利用相关的补偿值集合，使用所述写束将特征写到所述至少两个子区域中的每一个。

7.如权利要求1所述的方法，还包括：

识别具有与第一区域对应的选择的补偿值集合的第二区域；

传送第一数据集合到写系统，以利用所述选择的补偿值集合将特征写到所述第一区域；以及

使用所传送的由所述写系统接收的所述第一数据集合将特征写到所述第二区域，而不向所述写系统重传所述第一数据集合。

8.如权利要求1所述的方法，还包括：传送编码数据集合到所述写系统的信号发生器，并在存储器中存储该编码数据集合，其中所述信号发生器响应于所述编码数据集合，提供控制信号以调整所述写束，以依次写多个邻接的区域中的每一个，所述编码数据集合响应于分配给每一区域的唯一的补偿值集合而形成。

9.一种存储介质，该存储介质根据权利要求1所述的方法来格式化。

10.一种装置，该装置执行如权利要求1所述的方法，以将特征写到存储介质。

11.一种装置，包括：

存储器，该存储器存储编码数据集合，该编码数据集合为要被写到基板的离散特征的多维图案的多个不同的邻接的区域中的每一个提供唯一的补偿值集合；以及

写束，该写束响应于在所述存储器中的所述编码数据集合将所述多维图案的特征写到所述基板，其中，利用所述编码数据集合的同一部分将至少两个相同的区域写到所述基板。

12.如权利要求11所述的装置，其中，所述编码数据集合被加载到所述存储器，并且被加载的数据由所述写束第一次使用以第一次将所述多维图案写到所述介质上的第一位置，然后由所述写束第二次重新使用以第二次将所述多维图案写到在所述介质上的不同的第二位置。

13.如权利要求11所述的装置，其中，所述编码数据集合被加载到所述存储器，并且被加载的数据由所述写束第一次使用以第一次将所述多维图案写到第一介质上的第一位置，然后由所述写束第二次使用以第二次将所述多维图案写到不同的第二介质上的第一位置。

14.如权利要求11所述的装置，还包括处理器，该处理器生成编码数据集合，作为由所述写束写特征的过程中施加的补偿值集合，并且单次传送所述编码数据到所述存储器，以通过所述写束写所述基板。