[发明专利]轮廓测量装置

权利要求书

1.一种轮廓测量装置，包括：

轮廓测量单元，具有用于将预定图案投影到被测量物体上的投影单元、和用于将由投影单元投影的图案成像的成像单元；

位置获取单元，获取轮廓测量单元的位置；

轮廓计算单元，被连接以使得能够与成像单元和位置获取单元通信，并且基于来自成像单元的图像信息和来自位置获取单元的位置信息来计算被测量物体的轮廓：

偏斜检测单元，检测投影单元的偏斜；以及

控制单元，连接至偏斜检测单元，并且基于由偏斜检测单元检测的投影单元的偏斜，来执行对轮廓测量单元的位置控制或操作控制的主动修正、和对轮廓计算单元的计算操作的被动修正中的至少任一个。

2.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，还包括移位机构，该移位机构在由此保持轮廓测量单元的状态下，根据来自控制单元的输出，将轮廓测量单元的位置移位，作为主动修正。

3.根据权利要求2所述的轮廓测量装置，其中，该移位机构根据来自控制单元的输出，对被测量物体上的由投影单元投影图案的位置执行修正。

4.根据权利要求2所述的轮廓测量装置，其中，该投影单元具有图案形成单元，该图案形成单元基于来自光源的光生成要投影到被测量物体的表面上的预定图案，并且

其中，该移位机构沿与图案的投影方向垂直的方向将图案形成单元的至少一个局部部件移位。

5.根据权利要求4所述的轮廓测量装置，其中，由图案形成单元基于来自光源的光生成的图案是线图案，并且

其中，该移位机构沿与所述线的纵向垂直的方向将图案生成单元的至少一个局部部件移位。

6.根据权利要求2至5中的任一项所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜，来控制移位机构以修正被测量物体上的由投影单元投影图案的位置，作为主动修正。

7.根据权利要求3或4所述的轮廓测量装置，其中，该移位机构被配置成，在投影单元和成像单元的相对位置保持固定的状态下保持投影单元和成像单元，并且具有用于执行对轮廓测量单元的主动修正的修正机构、和用于相对于被测量物体移动修正机构的移动机构单元，并且

其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜与移动机构单元的移动量之间的差，来控制修正机构以修正被测量物体上的由投影单元投影图案的位置。

8.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元根据由偏斜检测单元检测到的偏斜的量，对基于从位置获取单元输出的信息所获取的图案的位置信息来执行修正控制，作为被动修正。

9.根据权利要求8所述的轮廓测量装置，还包括移动机构单元，该移动机构单元在保持投影单元和成像单元的相对位置的状态下，相对于被测量物体移动投影单元和成像单元，

其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜与移动机构单元的移动量之间的差，对从位置获取单元获取的图案的图像的所获取位置信息来执行修正控制。

10.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜信息来确定成像单元的成像定时，作为主动修正。

11.根据权利要求10所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜信息，来控制成像单元的成像定时，以在偏斜的相位是预定值的整数倍时使成像单元将所述图案成像。

12.根据权利要求11所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元基于由偏斜检测单元检测到的偏斜信息，来控制成像单元的成像定时，以使按在获取一个帧的持续时间内，形成在成像单元上的图案图像的、因偏斜而造成的运动是不大于成像单元中一像素节距的运动量的这种定时来将所述图案成像。

13.根据权利要求1所述的轮廓测量装置，其中，该控制单元具有确定单元，该确定单元确定轮廓测量单元和轮廓计算单元中的哪一个应当是基于由偏斜检测单元检测到的偏斜所执行的控制的目标。