[发明专利]振动发电装置及其制造方法

权利要求书

1.一种振动发电装置，包括：

框架部；

配重部，其位于所述框架部内部；

挠曲部，其接合在所述框架部与所述配重部之间，并且配置为响应于所述配重部的位移而弯曲；以及

发电部，其至少位于所述挠曲部处，并且配置为响应于所述配重部的振动而产生交流电压，

其中，所述框架部和所述配重部由硅衬底形成，

其中，所述发电部在其自身表面上包括由树脂材料形成的弹性膜，

其中，所述挠曲部包括由所述树脂材料形成的所述弹性膜，所述树脂材料的杨氏模量小于形成所述框架部和所述配重部的硅的杨氏模量。

2.根据权利要求1所述的振动发电装置，其中，所述挠曲部由所述弹性膜和相对于所述硅衬底的蚀刻停止层中的至少仅所述弹性膜组成，并且设置有所述发电部。

3.根据权利要求1或2所述的振动发电装置，其中，形成所述弹性膜并将其延伸至所述配重部。

4.一种制造根据权利要求1-3中的任一项所述的振动发电装置的方法，

其中，所述框架部和所述配重部由形成有蚀刻停止层的硅衬底形成，并且

其中，通过蚀刻所述硅衬底直至到达所述蚀刻停止层来形成所述挠曲部。