[发明专利]大面积电极上的紧密安装的陶瓷绝缘体有效

专利信息
申请号: 201180021285.1 申请日: 2011-05-18
公开(公告)号: CN102918180A 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: J·库德拉;白宗薰;J·M·怀特;R·L·蒂纳;S·安瓦尔 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/44;H01L21/205
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 胡林岭
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 大面积 电极 紧密 安装 陶瓷 绝缘体
【权利要求书】:

1.一种多片式框组件,用以界定气体分配板的外缘边缘,该多片式框组件包含:

第一短延长框构件,在第一端中具有孔洞,且在第二端中具有狭槽;

第二短延长框构件,在第一端中具有孔洞,且在第二端中具有狭槽;

第一长延长框构件,在第一端中具有孔洞,且在第二端中具有狭槽;以及

第二长延长框构件,在第一端中具有孔洞,且在第二端中具有狭槽。

2.如权利要求1所述的多片式框组件,其中该第一短延长框构件包含:

内侧边缘以及外侧边缘,该内侧边缘具有凹陷部分。

3.如权利要求2所述的多片式框组件,其中该第一短延长框构件的该内侧边缘包含:

线性表面部分。

4.如权利要求3所述的多片式框组件,其中该内侧边缘的该线性表面部分相邻于该第一短延长框构件的该狭槽设置。

5.如权利要求1所述的多片式框组件,其中该第一短延长框构件的该狭槽具有一定向,该定向平行对齐该第一短延长框构件的长边。

6.如权利要求1所述的多片式框组件,其中该第一长延长框构件包含:

本体,具有向内延伸的唇部。

7.如权利要求1所述的多片式框组件,其中该第一长延长框构件包含:

本体,该本体具有唇部及狭槽,该狭槽自该本体的底表面朝向该本体的顶表面延伸。

8.如权利要求7所述的多片式框组件,其中该狭槽沿着该第一长延长框构件的长度延伸。

9.如权利要求1所述的多片式框组件,其中该等框构件以陶瓷制成。

10.一种喷头组件,包含:

气体分配板;以及

多片式框组件,该多片式框组件界定该气体分配板的外缘边缘,该多片式框组件包含第一框构件,该第一框构件具有自由端,该自由端邻接第二框构件的固定端。

11.如权利要求10所述的喷头组件,其中该等框构件以陶瓷制成。

13.如权利要求10所述的喷头组件,其中该第一框构件的该自由端还包含:

狭槽,具有导引销,该导引销穿过该狭槽而设置,并将该自由端固定至该气体分配板。

14.如权利要求10所述的喷头组件,其中该第一框构件还包含:

固定端,与该自由端相对,该第一框构件的该固定端具有孔洞,该孔洞具有静止销,该静止销穿过该孔洞而设置,并将该第一框构件的该固定端固定至该气体分配板。

15.如权利要求10所述的喷头组件,其中该喷头组件更包含:

导电元件,设置于该多片式框组件的该第一框构件中,并电气耦接至该气体分配板。

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