[发明专利]靶安装机构

说明书

技术领域

本发明涉及溅射装置的靶安装机构，详细地涉及能够对阴极容易且可靠地安装圆筒形的靶的靶安装机构。

本申请基于2010年6月28日于日本申请的特愿2010-146617号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

例如，作为建材用玻璃，Low-E玻璃（低辐射玻璃）正在普及。

这种Low-E玻璃通过将金属薄膜成膜在玻璃表面上而形成。过去，在玻璃等的表面形成金属薄膜时，利用具备平板形的靶（以下，仅称为靶）的磁控溅射装置进行成膜。

但是，随着近年来的建材用玻璃的大型化，对于平板形的靶而言，难以将金属膜以均匀的厚度成膜在玻璃表面的全体上。

作为将金属膜以均匀的厚度无差异地成膜在这种大面积的成膜对象物上的装置，提出一种利用圆筒形状的靶的溅射装置（例如，参照专利文献1）。此外，圆筒形的靶具有使用效率高于平板形的靶的特点。

利用圆筒形状的靶的溅射装置中，圆筒形的靶在沿着旋转轴方向（长度方向）的两端被安装到阴电极上。过去，作为将靶安装到阴电极的结构，公开有一种连结系统，例如在卡合于阴电极的夹具上螺旋形地形成剖面为半圆形的槽，并且在靶的端部也螺旋形地形成半圆形的槽。并且，通过在任一方的槽中插入圆筒形的螺旋环，并使螺旋环啮合到另一方的槽中，从而将靶安装在阴电极上（参照专利文献2）。

专利文献1：特开2010－100930号公报

专利文献2：特表2006－521515号公报

但是，在如所述专利文献2的连接系统中，当将圆筒形的靶安装到阴电极时，由于通过螺旋环来卡合靶和夹具，所以安装位置容易偏移，难以将靶的轴心准确对准阴电极的旋转中心而安装。因此，具有靶容易偏心旋转、腐蚀图案不稳定、靶的寿命短的问题。

此外，例如，为了在成膜面的一边为数米等的大型的被成膜物上进行成膜，而使用长度为数米等大型的靶的情况下，在将靶安装到阴电极时，需要使用专用工具用较大的力旋转夹具，靶的安装需要庞大的劳力。

发明内容

本发明是鉴于所述问题做出的，其目的在于，提供一种能够对阴极容易地且在准确的安装位置安装圆筒形的靶的靶安装机构。此外，其目的在于，提供一种可以使靶的腐蚀图案均匀并且实现靶的长寿命化的靶安装机构。

（1）本发明的一方式的靶安装机构，对阴极的连结部能装拆地安装溅射装置中使用的圆筒形的靶，

所述靶具备圆筒形的基体和覆盖该基体的靶材，并且具有配有所述靶材的中央区域和在除该中央区域以外的两端侧所述基体露出的连结区域；

在所述阴极的连结部形成有内置该连结部和所述连结区域的大致圆筒形的夹具；在所述连结部及所述连结区域内置于所述夹具中的状态下，形成于所述靶的所述连结区域的第一卡合凸部和形成于所述夹具的内周面的第二卡合凸部只沿着所述靶的圆周方向相对移动，从而卡合。

（2）在上述（1）所述的方式中，优选所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的卡合所需的转矩为1kgf·cm以上、20kgf·cm以下。

（3）在上述（1）所述的方式中，优选所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的接触面是所述靶的圆周方向为短边、所述靶的轴方向为长边的形状。

（4）在上述（1）所述的方式中，优选具备发出判断所述第一卡合凸部和所述第二卡合凸部的卡合动作已经完成的信号的结构。

（5）在上述（1）所述的方式中，优选所述第二卡合凸部形成有三个以上，位于所述夹具的内周面方向的同一线上，并位于将所述靶的旋转轴看作中心的假想圆上，并且相对于通过所述中心和所述第二卡合凸部中的至少一个的线段，其它的所述第二卡合凸部轴对称配置。

（6）在上述（1）所述的方式中，优选进一步具备垫圈，该垫圈设置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体的接触部分。

（7）在上述（1）所述的方式中，优选进一步具备固定机构，该固定机构使所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述基体紧密接合。

（8）在上述（1）所述的方式中，优选进一步具备衬垫，该衬垫配置在所述阴极的所述连结部上的相对于轴心垂直延伸的部分与所述夹具的间隙。

（9）在上述（8）所述的方式中，优选在所述衬垫实施有表面处理。

如以上说明，根据上述（1）所述的方式，在溅射装置的阴极上安装圆筒形的靶时，将形成于阴极上的夹具插入到靶的端部的连结区域，使夹具只沿着靶的圆周方向相对移动，就使第一卡合凸部和第二卡合凸部卡合，可以对阴极安装圆筒形的靶。