[发明专利]导电性滑动膜、形成有导电性滑动膜的部件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及能够在相对滑动的部件的表面形成的导电性滑动膜、形成有该导电性滑动膜的照相机用安装部件这样的部件以及导电性滑动膜的制造方法。

背景技术

在相对滑动的部件或与其它部件的被接面相对滑动地连接的部件（称为连接部件）中，大多在部件的表面形成镀层。作为这样的部件的例子可例示光学设备等的外装件，作为连接部件可例示，在镜头单元相对于照相机机身能够装卸更换地构成的照相机系统中在机身侧和镜头侧设置的被称作卡口式安装件（以下，仅记为“安装件（mount）”）的连接部件。安装件通常如下构成：基材由黄铜构成，在表面上形成有由金属铬构成的导电性保护镀层（例如，参照专利文献1）。

作为安装件的表面处理材料选择金属铬的理由是由于铬是反射率高且光泽漂亮的金属，比较硬质，具有导电性且非稀有金属所以生产成本比较低廉。即，对机身侧的安装件与镜头侧的安装件相对滑动地卡合连接的安装件，要求滑动性（低摩擦系数）与耐磨性（表面硬度），并且为了在照相机机身与镜头单元之间共用接地电位或为了作为信号电流的路径利用等而要求使电流通的导电性。另外，为了确保外观品质，还要求漂亮的金属光泽和耐腐蚀性。特别是对于滑动性（低摩擦系数）与耐磨性（表面硬度），由于它们相互关联，所以需要调整为适当的范围的值。例如，如果安装件的表面硬度过高，则摩擦系数变高，因此在照相机机身上安装镜头单元的操作性变差。相反地，如果安装件的表面硬度不具有规定的硬度，则表面处理（膜）容易损伤、剥离。因此，对于摩擦系数与表面硬度，要求对照相机机身装卸镜头单元时能够维持良好的操作性的同时能够承受规定次数的装卸的值。如此地，照相机的安装件是用户直接接触操作且喜好性高的产品，所以还要求只重视动作性和功能的汽车或机械用滑动部件中没有的特性。

假设，如果代替金属铬使用硬质但反射率低的金属化合物等素材，则无法确保所希望的外观品质。另外，如果使用反射率高但软质的金属，则较少次数的镜头更换就产生伤痕，容易使外观品质下降，而且磨损有可能继续发展，发生镜头无法固定到正确的位置的问题。在黄铜基材的表面实施金属铬的镀覆的以往的方法，作为以较好的平衡实现这些要求的手段经常被使用。

专利文献1:日本特开2006-225686号公报

专利文献2:日本特开平6-212429号公报

专利文献3:日本特开2008-297477号公报

发明内容

然而，在使用金属铬被膜的以往的安装件中，存在如下课题：有时因用户反复更换镜头，会导致金属铬层磨损而露出基底黄铜或发生划痕等损伤的问题，无法说表面硬度、耐久性一定充分。

另外，由于对环境问题的关注度的提高，避免使用对人体有害的化学物质六价铬的湿式镀覆工序已经成为社会责任，需要开发一种能够以干式工艺满足所需要求的新型被膜形成技术。

作为滑动材料的涂布材料，已知有具有耐磨性、低摩擦滑动特性的硬质碳膜。例如，专利文献2公开了为了提供兼有优异的耐磨性与高导电性的硬质碳膜，将Ti、Mo用作杂质元素，利用等离子体CVD法、溅射法、离子镀法，从甲烷气体形成硬质碳膜的方法。该文献虽未公开所得到的硬质碳膜的结构，但根据后述的本发明人的实验结果可知是以sp²键（杂化轨道）为主体的与类金刚石碳相近的结构或大量包含氢的以sp³键（杂化轨道）为主体的碳膜。

然而，大量包含氢的以sp³键为主体的碳膜时，耐腐蚀性存在问题，另外，由于氢在高温环境下气化，所以存在碳膜的附着力下降这种问题。另外，从耐磨性、硬度的角度出发，以sp²键为主体的类金刚石碳不适用于相机的安装件的用途。

近年，已知使用过滤阴极真空电弧法（FCVA），由不含氢且与sp²键相比包含更多的sp³键的四面体无定形碳（ta-C）制造低摩擦滑动部件（专利文献3）。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，目的在于提供尤其适于照相机用安装件的表面处理的，耐磨性高、滑动性良好且具有能够传输电信号的导电性的连接部件用导电性滑动膜和连接部件，并且还以提供能够利用干式工艺制造上述连接部件的制造方法为目的。而且，本发明的目的还在于提供具备上述导电性滑动膜和连接部件的、照相机用安装部件这样的部件、照相机机身以及镜头单元。