[发明专利]具有非球面膜床的平台、具有该平台的压力传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于制造具有膜床的平台的方法，包括如下步骤：

提供平台主体，所述平台主体包括硅；以及

借助激光烧蚀从所述平台主体的表面去除硅材料。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：

氧化经烧蚀的表面；以及

蚀刻经烧蚀并氧化的表面。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中借助激光烧蚀的去除逐层地发生。

4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其中所述激光烧蚀借助超短激光脉冲发生，特别是利用在几百飞秒直到几十皮秒的时间范围内的激光脉冲。

5.根据权利要求4所述的方法，其中激光脉冲的持续时间总计不大于30皮秒，优选地不大于20皮秒，进一步优选地不大于15皮秒，并且特别优选地不大于10皮秒。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其中激光脉冲的持续时间总计例如不小于100皮秒，特别是不小于200皮秒。

7.根据权利要求4或5所述的方法，其中激光脉冲的功率总计大于10¹⁰瓦特/cm²。

8.根据前述权利要求中的一项所述的方法，其中借助激光烧蚀去除材料导致了围绕与所述平台主体的表面垂直的轴线旋转对称地延伸的轮廓。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述轮廓通过以下等式描述：

D(r)=D_max(1-(r/R)²)²，

其中r是所考虑的点距所述轴线的径向距离，并且D(r)描述了相对于在r=R的情形下由所述轮廓的边缘限定的平面的深度。

10.一种平台（2a、2b），包括

具有膜床（6a、6b）的平台主体，所述膜床（6a、6b）具有用于支撑测量膜（3）的轮廓，其中所述轮廓基本对应于所述测量膜（3）的弯曲线，其中所述轮廓是经由根据前述权利要求中的一项所述的方法可获得的。

11.根据权利要求10所述的平台，其中所述膜床的轮廓通过以下等式描述：

D(r)=D_max(1-(r/R)²)²

其中r是所考虑的点距所述旋转对称的轮廓的轴线的径向距离，并且D(r)描述了相对于在r=R的情形下由所述轮廓的边缘限定的平面的深度。

12.根据权利要求10或11所述的平台，其中所述轮廓有最大深度D_max，所述最大深度D_max具有不小于4μm，特别是不小于8μm，优选地不小于12μm，并且特别优选地不小于16μm的值。

13.根据权利要求10至12中的一项所述的平台，其中所述平台主体包括半导体材料，特别是Si。

14.一种压力传感器，包括测量膜和至少一个根据权利要求10至13中的一项所述的平台，其中所述测量膜被放置为与所述平台的膜床相对并且与平台主体固定地连接，其中所述压力传感器进一步包括转换器，所述转换器用于将所述测量膜的依赖于压力的变形转换成电或光信号。

15.根据权利要求14所述的压力传感器，其中所述压力传感器是用于记录第一介质压力和第二介质压力之间的差的压力差传感器，其中所述压力传感器包括两个平台，并且其中所述测量膜被放置在所述两个平台之间并且与两个所述平台主体固定地连接。