[发明专利]用于物理参数的光学测量的设备

权利要求书

1.一种用于物理参数的光学测量的测量设备（10），其特征在于，所述测量设备包括：

激光光源（11），用于在目标（20）的方向上产生测量光束并用于接收被所述目标反射的测量光束，所述测量光束沿着随所要确定的物理参数而变化的光路行进，所述激光光源包括光学腔（111）；

针对所述激光光源（11）的运动传感器（14）；

计算装置（15），用于根据在所述激光光源（11）处测量到的信号和所述运动传感器（14）测量到的信号来计算所述物理参数。

2.根据权利要求1所述的测量设备，其中所述计算装置（15）包括第一转换装置（151）和第二转换装置（152），所述第一转换装置（151）用于将在所述激光光源（11）处测量到的信号转换为所述光路中的总变化的测量值，而所述第二转换装置（152）用于将所述运动传感器（14）测量到的信号转换为所述激光光源的位移的测量值。

3.根据前述任一项权利要求所述的测量设备，其中所述计算装置（15）包括用于相对于所述激光光源（11）来校准所述运动传感器（14）的校准装置（153）。

4.根据前述任一项权利要求所述的测量设备，其中所述运动传感器（14）是加速度计。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的测量设备，包括光电二极管（13），所述光电二极管（13）位于所述激光光源（11）的输出端处，在所述第一转换装置（151）的上游。

6.根据前述权利要求中任一项所述的测量设备，其中所述激光光源（11）是激光二极管。

7.一种用于由根据权利要求1至6中任一项所述的所述光学测量设备测量物理参数的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

通过所述激光光源（11）在目标（20）的方向上发射测量光束；

在所述激光光源（11）处测量表示光路中的总变化的信号；

通过运动传感器（14）在所述激光光源（11）处测量表示所述激光光源（11）在测量期间的位移的信号；

根据在所述激光光源（11）处测量到的信号，通过所述第一转换装置（151）确定所述光路中的所述总变化；

根据通过所述运动传感器（14）测量到的信号，通过所述第二转换装置（152）确定所述激光光源的所述位移；

根据所述光路中的所述总变化并根据所述激光光源的所述位移，确定所述物理参数。

8.一种根据权利要求1至6中任一项所述的光学测量设备用于以非破坏性方式对材料和所加工部件进行检查和控制的用途。

9.一种根据权利要求1至6中任一项所述的光学测量设备用于测量目标的位移和振动的用途。

10.一种根据权利要求1至6中任一项所述的光学测量设备用于检测气态和/或液态混合物中的变化的用途。

11.一种包括根据权利要求1至6中任一项所述的设备的板上系统。

12.一种用于沿着目标（20）的位移的轴线XX’进行光学测量的测量设备（10），其特征在于，所述测量设备包括：

激光光源（11），用于在所述目标的方向上产生测量光束并用于接收被所述目标反射的测量光束，所述测量光束沿着随所述目标的所述位移而变化的光路行进，所述激光光源包括光学腔（111）；

针对所述激光光源（11）的运动传感器（14）；

计算装置（15），用于根据在所述激光光源（11）处测量到的信号和所述运动传感器（14）测量到的信号来计算所述目标的位移。

13.一种用于测量目标沿着N个轴线的位移的系统，其中N大于等于2，所述系统包括N个根据权利要求12所述的光学测量设备。