[发明专利]接触式探针有效
| 申请号： | 201180023166.X | 申请日： | 2011-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102884437A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 平野贵之;古保里隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 翟赟琪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 接触 探针 | ||
1.一种接触式探针，其特征在于，是与电极反复接触的接触式探针，其中，
在与电极接触的所述接触式探针表面形成有含有金属元素的碳被膜，
所述金属元素在碳被膜表面的浓度比碳被膜全体的平均浓度低。
2.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述碳被膜中的所述金属元素的浓度具有多层构造，或所述金属元素的浓度在膜厚方向上连续地变化。
3.根据权利要求2所述的接触式探针，其中，所述金属元素的浓度从所述接触式探针的基材侧朝向表面侧持续减少。
4.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述碳被膜的表面中的所述金属元素的浓度为15原子％以下。
5.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述金属元素的表面浓度与平均浓度的差为10原子％以上。
6.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述金属元素在碳被膜全体的平均浓度超过15原子％。
7.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述碳被膜是类金刚石碳膜。
8.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述金属元素是从钨、钽、钼、铌、钛和铬所构成的群中选择的一种以上的元素。
9.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，所述碳被膜的总膜厚为50nm以上5μm以下。
10.根据权利要求1所述的接触式探针，其中，在所述接触式探针的前端形成有突起，从所述接触式探针的侧面投影该突起的前端时，曲率半径为10μm以下。
11.一种检查用连接装置，其具有多个权利要求1所述的接触式探针。
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