[发明专利]具有流体分离特性的封闭室

权利要求书

1.用于处理晶片状物件的设备，包括封闭式处理室、位于所述封闭式处理室内的环状卡盘、以及穿过所述封闭式处理室的底壁与所述封闭式处理室外面流体连通的至少一个处理流体收集器，其中所述环状卡盘适于在没有物理接触的情况下通过磁轴承驱动，且其中所述环状卡盘和所述至少一个处理流体收集器相对于彼此能竖直移动。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述环状卡盘被安装在竖直方向上且所述至少一个处理流体收集器包括能竖直移动的防溅罩。

3.根据权利要求2所述的设备，包括多个流体收集器，每一个流体收集器包括能竖直移动的防溅罩。

4.根据权利要求3所述的设备，其中每一个能竖直移动的防溅罩自所述封闭式处理室外面被选择性地驱动至预先确定的竖直位置。

5.根据权利要求4所述的设备，其中每一个能竖直移动的防溅罩能被选择性地定位以便获取来自由所述环状卡盘承载的旋转晶片的预先选定的处理流体。

6.根据权利要求5所述的设备，进一步包括具操作性地关联于每一个能竖直移动的防溅罩的竖直移动致动器。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述致动器通过磁耦合具操作性地关联于所述能竖直移动的防溅罩。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一个处理流体收集器被安装在竖直方向上且所述环状卡盘包括能竖直移动的有源磁轴承。

9.根据权利要求8所述的设备，包括多个流体收集器，所述能竖直移动的有源磁轴承包括位于所述封闭式处理室外面的能竖直移动的定子。

10.根据权利要求9所述的设备，其中所述能竖直移动的有源磁轴承能被选择性地定位使得来自由所述环状卡盘承载的旋转晶片的预先选定的处理流体被导向预先选定的流体收集器。

11.根据权利要求10所述的设备，进一步包括具操作性地关联于所述定子的竖直移动致动器。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述竖直移动致动器通过磁耦合具操作性地关联于所述定子。

13.根据权利要求1所述的设备，其中所述磁轴承是有源磁轴承。