[发明专利]纳米颗粒抗反射层

权利要求书

1.供光学元件或光电器件使用的薄膜宽带抗反射层，它包括：

至少一层薄膜介电层；

置于所述薄膜介电层之上或其内的至少一个阵列的纳米颗粒，其中所述纳米颗粒的介电常数显著不同于所述介电层的介电常数。

2.权利要求1的抗反射层，其中所述薄膜介电层包括二氧化硅，氮化硅，原硅酸四乙酯(TEOS)，有机树脂，聚合物，半导体和/或其结合。

3.权利要求1或2的抗反射层，其中所述薄膜电介质的厚度大约在10和300nm之间，优选在50和100nm之间。

4.权利要求1-3任一项的抗反射层，其中选择所述纳米颗粒的平均尺寸在大约100和300nm，和其中选择所述颗粒之间的平均距离在200和700nm之间。

5.权利要求1-4任一项的抗反射层，其中所述纳米颗粒的至少一部分是金属纳米颗粒，优选所述金属选自Au，Ag，Cu，Al和/或其合金。

6.权利要求1-4任一项的抗反射层，其中所述纳米颗粒的至少一部分是半导纳米颗粒，优选所述半导材料选自第IV族的半导体，III-V或II-VI半导化合物和/或其结合。

7.权利要求1-4任一项的抗反射层，其中所述纳米颗粒的至少一部分是金属氧化物纳米颗粒，优选选自Al2O3,Ta2O5,Ti3O5,TiO2,ZiO2,Nb2O5,CeO2和Si3N4中的高折射指数氧化物。

8.权利要求1-7任一项的抗反射层，其中所述纳米颗粒的至少一部分具有基本上球体的形状。

9.多层结构，它包括至少一层权利要求1-7任一项的抗反射层。

10.光学元件，优选光学透镜或显示器屏幕，它包括权利要求1-8任一项的抗反射层。

11.光电器件，优选光接收或发光器件，它包括权利要求1-8任一项的抗反射层。

12.光电器件，其中所述抗反射层沉积在薄膜光吸收或发光层上。

13.一阵列的电介质纳米颗粒和/或金属纳米颗粒作为抗反射涂层的至少一部分的用途。

14.权利要求12的用途，其中选择所述纳米颗粒的平均尺寸在约100和300nm之间，和其中选择所述颗粒之间的平均距离在200和700nm之间。

15.权利要求12或13的用途，其中所述纳米颗粒的至少一部分是金属纳米颗粒，优选所述金属选自Au,Ag,Cu,Al和/或其合金；和/或，其中所述纳米颗粒的至少一部分是半导纳米颗粒，优选所述半导材料选自第IV族半导体，III-V或II-VI半导化合物和/或其结合；和/或其中所述纳米颗粒的至少一部分是金属氧化物纳米颗粒，优选选自Ta2O5,Ti3O5,TiO2,ZiO2,Nb2O5,CeO2和Si3N4中的高折射指数的氧化物。