[发明专利]形状测定装置及形状测定方法

权利要求书

1.一种形状测定装置，其特征在于，包含：

投影部，将具有共通的重复构造、且相位不同的多种图案依次投影至测定对象物上；

摄像部，在每次将所述多种图案的各个投影至所述测定对象物时拍摄所述测定对象物并取得图像数据组；

选出部，从所取得的所述图像数据组之中选出有关所述测定对象物上的同一区域、且组内的全部数据在有效亮度范围内的数据组作为适当数据组；及

形状算出部，根据所选出的所述适当数据组，求出在所述测定对象物成为所述适当数据的取得来源的区域的形状。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置，其特征在于：

更包含控制部，该控制部通过使所述摄像部以多种曝光量的各个取得所述图像数据组，而取得多组所述图像数据组；

所述选出部对所述测定对象物上的每一个区域进行从所述多组所述图像数据组之中选出所述适当数据组的处理。

3.根据权利要求2所述的形状测定装置，其特征在于：

所述选出部选出所述多组所述图像数据组中亮度值在所述摄像部的输入输出特性成为线性的所述有效亮度范围内的数据组，作为所述适当数据组。

4.根据权利要求3所述的形状测定装置，其特征在于：

所述选出部选出所述多组所述图像数据组中亮度值在所述有效亮度范围内且曝光量尽可能高的数据组作为所述适当数据组。

5.根据权利要求2至4中任一权利要求所述的形状测定装置，其特征在于：

所述控制部将所述多种曝光量之间的间距设定成所述曝光量越低则越细。

6.根据权利要求5所述的形状测定装置，其特征在于：

所述控制部将所述多种曝光量之间的间距设定成在所述曝光量的对数刻度上均等。

7.根据权利要求2至6中任一权利要求所述的形状测定装置，其特征在于：

所述控制部更包含设定部，该设定部在取得所述多种图像数据组之前设定所述多种曝光量的值范围；

所述设定部将所述曝光量的值范围的上限值设定成在所述测定对象物上最暗的部分的数据在所述有效亮度范围内的值，且将所述曝光量的值范围的下限值设定成在所述测定对象物上最亮的部分的数据在所述有效亮度范围内的值。

8.根据权利要求2至7中任一权利要求所述的形状测定装置，其特征在于：

所述控制部通过改变所述摄像部的电荷储存时间来设定所述多种曝光量。

9.一种形状测定方法，其特征在于，包含：

投影次序，将具有共通的重复构造、且相位不同的多种图案依次投影至测定对象物上；

拍摄次序，在每次将所述多种图案的各个投影至所述测定对象物时拍摄所述测定对象物并取得图像数据组；

选出次序，选出有关所述测定对象物上的同一区域且将组内的全部数据在有效亮度范围内的数据组作为适当数据组；及

形状算出次序，根据所选出的所述适当数据组求出在所述测定对象物中成为所述适当数据的取得来源的区域的形状。

10.根据权利要求9所述的形状测定方法，其特征在于：

更包含控制次序，该控制次序是通过在所述拍摄次序中以多种曝光量的各个而取得所述图像数据组，从而取得多组所述图像数据组；

在所述选出次序中，对所述测定对象物上的每一个区域进行从所述多组所述图像数据组之中选出所述适当数据组的处理。

11.根据权利要求10所述的形状测定方法，其特征在于：

在所述选出次序中，选出所述多组所述图像数据组中亮度值在所述摄像部的输入输出特性成为线性的所述有效亮度范围内的数据组，作为所述适当数据组。

12.根据权利要求10或11所述的形状测定方法，其特征在于：

在所述选出次序中，选出所述多组所述图像数据组中的亮度值在所述有效亮度范围内且曝光量尽可能高的数据组，作为所述适当数据组。

13.根据权利要求10至12中任一权利要求所述的形状测定方法，其特征在于：

在所述控制次序中，将所述多种曝光量之间的间距设定成所述曝光量越低则越细。

14.根据权利要求13所述的状测定方法，其特征在于：

在所述控制次序中，将所述多种曝光量之间的间距设定成在所述曝光量的对数刻度上均等。