[发明专利]可旋转式磁控管的靶利用率提高

权利要求书

1.一种在圆柱形可旋转式磁控管中使用的磁性组装件，包括：

第一磁体，其朝向所述磁性组装件的中心部分安设，所述第一磁体具有第一磁定向；

第二磁体，其朝向所述磁性组装件的外围部分安设，所述第二磁体具有与所述第一磁定向相反的第二磁定向；以及

介于所述第一磁体和第二磁体之间的一个或多个电磁线圈，所述一个或多个电磁线圈缠绕在一个或多个极片周围，所述一个或多个电磁线圈配置用于提供具有第三磁定向的磁场，所述第三磁定向与所述第一磁定向和第二磁定向中的一个相平行并且与所述第一磁定向和第二磁定向中的另一个相反。

2.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述一个或多个电磁线圈安设在所述磁性组装件的端部。

3.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述一个或多个电磁线圈在所述磁性组装件的每一端沿溅射路径以近似弯曲的方式布置。

4.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第一磁定向和第三磁定向是平行的。

5.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第二磁定向和第三磁定向是平行的。

6.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第一磁体包括多个磁体。

7.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第二磁体包括多个磁体。

8.根据权利要求1所述的磁性组装件，还包括安设在所述一个或多个极片之上的一个或多个磁场成形极片。

9.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第一磁体和第二磁体中的一个或多个磁体是永磁体。

10.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第二磁体外接所述第一磁体的至少一部分。

11.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第一磁体具有比所述第一磁体的宽度更大的长度。

12.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述第二磁体具有比所述第二磁体的宽度更大的长度。

13.根据权利要求1所述的磁性组装件，其中所述磁性组装件在所述磁性组装件的每一端处包括5个或更多个电磁线圈。

14.一种圆柱形可旋转式磁控溅射装置，包括：

磁性组装件，其具有介于第一磁体与第二磁体之间的一个或多个电磁线圈，所述一个或多个电磁线圈配置用于提供具有如下磁定向的磁场，所述磁定向与所述第一磁体和第二磁体中的一个的磁定向相平行并且与所述第一磁体和第二磁体中的另一个的磁定向相反；

一条或多条绝缘线，其与所述一个或多个电磁线圈电接触，所述一条或多条绝缘线配置用于向所述一个或多个电磁线圈提供电流；以及

背衬管，用于容纳所述磁性组装件，所述背衬管配置用于保持靶材料，

其中所述背衬管配置成在所述磁性组装件保持静止时旋转。

15.一种圆柱形可旋转式磁控溅射设备，包括：

磁性组装件，其具有第一组电磁线圈和第二组电磁线圈，所述第一组电磁线圈和第二组电磁线圈中的每一组安设在第一磁体和第二磁体之间，所述第一组电磁线圈和第二组电磁线圈中的每一组配置用于提供具有如下磁定向的磁场，所述磁定向与所述第一磁体和第二磁体中的一个的磁定向相平行并且与所述第一磁体和第二磁体中的另一个的磁定向相反；

一条或多条绝缘线，其与所述第一组电磁线圈和第二组电磁线圈电接触，所述一条或多条绝缘线配置用于向所述第一组电磁线圈和第二组电磁线圈中的每一组提供电流；以及

背衬管，用于容纳所述磁性组装件，所述背衬管配置用于保持靶材料。

16.根据权利要求15所述的圆柱形可旋转式磁控溅射设备，其中所述背衬管配置成在所述磁性组装件保持静止时旋转。

17.根据权利要求15所述的圆柱形可旋转式磁控溅射设备，还包括多条绝缘线，其中所述多条绝缘线的第一子集与所述第一组电磁线圈电接触，并且其中所述多条绝缘线的第二子集与所述第二组电磁线圈电接触。

18.根据权利要求17所述的圆柱形可旋转式磁控溅射设备，其中所述多条绝缘线的所述第一子集和所述第二子集中的每一个子集与分别的电源电接触。