[发明专利]用于对准光学元件的基于MEMS的杠杆及其使用

权利要求书

1.一种用于定位光学组件的机构，其包括：

第一挠曲件，其耦合到底座；

结构，其耦合到所述第一挠曲件，所述结构大体呈四边形的形式，所述结构包含若干对挠曲件中的具有第一定向方向的第一对及所述若干对挠曲件中的具有第二定向方向的第二对，所述结构包含用于光学组件的支架；及

伸长臂，其大体从所述结构延伸。

2.根据权利要求1所述的机构，其中大体呈四边形的形式的所述结构为大体呈平行四边形的形式的结构。

3.根据权利要求1所述的机构，其中用于所述光学组件的所述支架在所述第一对挠曲件中的所述挠曲件之间。

4.根据权利要求1所述的机构，其中所述第一方向大致正交于所述第二方向。

5.根据权利要求4所述的机构，其中所述若干对挠曲件中的每一挠曲件约束其端沿第三方向的相对运动，所述第三方向大致正交于所述第一方向及所述第二方向。

6.根据权利要求5所述的机构，其中所述第一对挠曲件中的每一挠曲件约束其端沿所述第一方向的相对运动，且所述第二对挠曲件中的每一挠曲件约束其端沿所述第二方向的相对运动。

7.根据权利要求4所述的机构，其中所述结构包含耦合所述第二对挠曲件中的所述挠曲件的部件。

8.根据权利要求7所述的机构，其中所述第一挠曲件耦合到所述部件。

9.根据权利要求8所述的机构，其中所述结构包含在所述第一对挠曲件之间的第二部件。

10.根据权利要求9所述的机构，其中用于所述光学组件的所述支架耦合到所述第二部件。

11.根据权利要求1所述的机构，其中所述伸长臂连接到所述第一对挠曲件中的所述挠曲件中的一者的一端且耦合到所述第二对挠曲件中的所述挠曲件中的一者的一端。

12.一种供在光学组合件中使用的装置，其包括：

多部分杠杆结构，其通过底座耦合到衬底，所述多部分杠杆结构包含耦合到所述底座的第一挠曲件、伸长臂以及将所述伸长臂耦合到所述第一挠曲件的至少一第二挠曲件及第一部件；及

透镜，其耦合到所述多部分杠杆结构。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述透镜经定位以将来自第一波导的光聚焦到第二波导中。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述第一波导为激光器。

15.根据权利要求13所述的装置，其中所述第二波导为无源光学波导。

16.根据权利要求12所述的装置，其中所述第二挠曲件正交于所述第一挠曲件。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述第二挠曲件围绕所述伸长臂的一端连接到所述伸长臂。

18.根据权利要求16所述的装置，其中所述第一部件耦合所述第一挠曲件与所述第二挠曲件。

19.根据权利要求18所述的装置，其中所述多部分杠杆结构进一步包含：连接到第二部件的第三挠曲件，所述第三挠曲件及第二部件平行于所述第二挠曲件从所述第一部件延伸；及平行于所述第一部件的两个额外挠曲件及第三部件，所述两个额外挠曲件及所述第三部件将所述第三挠曲件及第二部件耦合到所述伸长臂。

20.根据权利要求19所述的装置，其中所述透镜安装到所述多部分杠杆结构的所述第三部件。

21.根据权利要求20所述的装置，其中所述第三部件在所述两个额外挠曲件之间。

22.一种供在光学对准两个光学组件中使用的结构，其包括：

伸长臂；

第一挠曲件，其沿第一方向从所述伸长臂延伸；

第二挠曲件，其沿第二方向从所述伸长臂延伸，所述第二方向不同于所述第一方向；

第一部件，其从所述第一挠曲件延伸，其中用于光学组件的支架耦合到所述第一部件；

第二部件，其从所述第二挠曲件延伸；

第三挠曲件、第三部件及第四挠曲件，其耦合所述第二部件与所述第一部件；及

第五挠曲件，其将所述第二部件耦合到底座。