[发明专利]端块和溅射装置

权利要求书

1.一种端块(100，101)，其用于承载沉积设备(200)的可旋转靶(10)，包括：

基体(110)，其适于刚性地连接到所述沉积设备(200)的非回转部分(230、231)，所述基体(110)包括圆筒腔(113)；

冷却剂管(114)，其共轴地插入到所述圆筒腔(113)内；

至少一个旋转轴承(140、141)，其绕基体(110)布置并界定了旋转轴线(50)；以及

转子(120)，其适于接收所述可旋转靶(10)并绕所述至少一个旋转轴承(140、141)布置，

其中，所述圆筒腔(113)与所述旋转轴线(50)共轴地布置。

2.根据权利要求1所述的端块(100，101)，其中，所述至少一个旋转轴承(140、141)是环锥形滚柱轴承(140，141)。

3.根据权利要求1或2所述的端块(100，101)，其中，所述至少一个旋转轴承(140，141)是预应力轴承(140，141)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的端块(100，101)，包括在所述旋转轴线(50)的方向上彼此间隔并布置在所述基体(110)与所述转子(120)之间的两个环锥形滚柱轴承(140、141)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的端块(100，101)，还包括环形开槽圆螺母(142)，所述环形开槽圆螺母布置在所述基体(110)与所述转子(120)之间并使所述两个环锥形滚柱轴承(140，141)彼此支承。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的端块(100，101)，其中，所述转子(120)包括在所述旋转轴线(50)的方向上的上端(112)处的靶凸缘(121)，所述靶凸缘适于机械地支撑所述可旋转靶(10)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的端块(100，101)，还包括在所述旋转轴线(50)的方向上的下端(111)处的绝缘板(116)，所述绝缘板与所述旋转轴线(50)垂直地定向并紧固到所述基体(110)。

8.根据权利要求7所述的端块(100，101)，其中，所述转子(120)包括集流器板(122)，所述集流器板与所述靶凸缘(121)相对沿所述旋转轴线(50)的方向布置。

9.根据权利要求8所述的端块(100，101)，还在所述集流器板(122)与所述绝缘板(116)之间包括冷却剂供应和排出单元(130)。

10.根据权利要求8或9所述的端块(100，101)，还在所述集流器板(122)与所述绝缘板(116)之间包括电支撑单元(130)。

11.根据权利要求6至9中任一项所述的端块(100，101)，还包括布置在所述靶凸缘(121)与所述基体(110)之间的至少一个环形滑动流体密封(117)。

12.根据权利要求6至11中任一项所述的端块(100，101)，还包括旋转驱动器(150)，其中所述转子(120)还包括真空密闭地安装到所述靶凸缘(121)并机械地连接到所述旋转驱动器(150)的轴承壳体(123)。

13.根据权利要求7至12中任一项所述的端块(100，101)，还包括外壳(125)，所述外壳紧固到所述绝缘板(116)并适于紧固到所述沉积设备(200)的所述非回转部分(230，231)。

14.一种沉积设备(200)，包括：

处理室(220)，其包括非回转部分(230，231)；以及

根据权利要求1至13中任一项所述的至少一个端块(100，101)，其安装到所述非回转部分(230，231)。

15.根据权利要求14所述的沉积设备，其中，所述处理室(220)包括壁(231)，所述至少一个端块(100，101)安装到所述壁，使得所述旋转轴线(50)平行于所述壁(231)。