[发明专利]磁声谐振传感器

权利要求书

1.一种传感装置，所述传感装置包括谐振器、传感器和检测器，所述传感器与所述谐振器机械连接，所述传感器包含在接触周围环境变化时在第一状态和第二状态之间变化的传感器材料，其中所述传感器由所述谐振器驱动，并且所述检测器响应于所述传感器材料的状态变化，其中，所述传感器材料是声学厚层的形式。

2.如权利要求1所述的传感装置，其中，所述检测器包括能够设置用于将电磁场导向所述传感器的电磁场发生器。

3.如权利要求2所述的传感装置，其中，所述电磁场发生器和所述检测器包括用于产生电磁场和检测电磁场的常规结构元件。

4.如权利要求2或权利要求3所述的传感装置，其中，所述电磁场发生器是可调的。

5.如权利要求2～4中任一项所述的传感装置，其中，所述电磁场发生器是线圈。

6.如权利要求2～5中任一项所述的传感装置，所述传感装置还包括与所述电磁场发生器和所述检测器连接的信号发生器和锁相放大器。

7.如权利要求6所述的传感装置，其中，所述检测器包括用于从所述信号发生器产生的信号中减去检测到的信号的差分二极管检波电路。

8.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，所述传感装置包括用于测量所述检测器中阻抗变化的阻抗测量电路。

9.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，其中，所述谐振器包括能够设置用于将磁场导向所述传感器的磁体。

10.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，其中，所述谐振器包括与所述传感器机械连接的激发器。

11.如权利要求10所述的传感装置，其中，所述激发器包含压电材料。

12.如权利要求11所述的传感装置，其中，所述压电材料是石英。

13.如权利要求11或12所述的传感装置，其中，所述压电材料是层的形式。

14.如权利要求13所述的传感装置，其中，所述压电层的厚度为50μm～1000μm。

15.如权利要求10～14中任一项所述的传感装置，其中，所述激发器包含磁致伸缩材料。

16.如权利要求10～15中任一项所述的传感装置，其中，所述激发器包含金属材料。

17.如权利要求16所述的传感装置，其中，所述金属材料是层的形式。

18.如权利要求17所述的传感装置，其中，所述金属层的厚度是50μm～1000μm。

19.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，其中，所述声学厚层的厚度是0.1μm～1mm。

20.如权利要求19所述的传感装置，其中，所述声学厚层的厚度是0.1μm～100μm。

21.如权利要求20所述的传感装置，其中，所述声学厚层的厚度是0.1μm～10μm。

22.如权利要求21所述的传感装置，其中，所述声学厚层的厚度是0.5μm～5μm。

23.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，其中，所述声学厚层大于一个分子厚。

24.如前述权利要求中任一项所述的传感装置，其中，所述传感材料是水凝胶。

25.如权利要求24所述的传感装置，其中，所述水凝胶响应于化学环境变化。

26.如权利要求25所述的传感装置，其中，所述化学环境变化是pH变化。

27.如权利要求24～26中任一项所述的传感装置，其中，所述水凝胶是甲基丙烯酸羟乙基酯-甲基丙烯酸酯共聚物。

28.如权利要求25所述的传感装置，其中，所述化学环境变化是分析物浓度的变化。

29.如权利要求28所述的传感装置，其中，所述分析物是生理分析物。

30.如权利要求28或权利要求29所述的传感装置，其中，所述分析物是糖。

31.如权利要求30所述的传感装置，其中，所述糖是葡萄糖。