[发明专利]抗反射涂料组合物和制造微电子器件的方法

权利要求书

1.一种抗反射涂料，其包含第一聚合物和第二聚合物的混合物以及热酸产生剂，其中第一聚合物包含至少一个氟代醇部分、至少一个脂肪族羟基部分和至少一个不同于氟代醇的pKa范围在约8-约11的酸部分；其中第二聚合物是氨基塑料化合物与包含至少一个羟基和/或至少一个酸基的化合物的反应产物。

2.权利要求1的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物进一步包含芳香基。

3.权利要求1或2的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物类型具有结构(1)

(-P₁-)_u(-P₂-)_v(-P₃-)_w(-P₄)_x(-P₅-)_y(I)

其中，P₁是包含氟代醇部分的单体单元，P₂是包含脂肪醇基团的单体单元；P₃是包含酰亚胺部分的单体单元；P₄是包含碱性可电离的芳基羟基部分的单体单元；P₅是包含芳基发色团部分的任选的单体重复单元；u、v、w、x、y是聚合物链中重复单元的摩尔%比例，和其中u、v大于0，w和x中的至少一个大于0，和y为0或更大。

4.权利要求1-3中任意一项的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物包含的氟代醇基团是结构(2)的单元

其中，X是烯键单元或取代的烯键单元，W选自亚烷基和亚芳基，和Rf₁与Rf₂独立地是氟代(C₁-C₄)烷基。

5.权利要求1-4中任意一项的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物包含的酰亚胺部分是结构(8)或(9)的单元

其中，R₁、R₂和R₃独立地选自氢和(C₁-C₄)烷基，R”₄是直链(C₁-C₁₀)烷基或(C₆-C₁₄)芳基部分，和R₈是直接价键或(C₁-C₁₀)亚烷基间隔基团。

6.权利要求1-5中任意一项的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物包含的脂肪族羟基部分是结构(7)的单元

其中，R₁、R₂和R₃独立地选自氢和(C₁-C₄)烷基，独立地选自氢和(C₁-C₄)烷基，R₄是氢或(C₁-C₁₀)烷基，和R₉选自直接价键和(C₁-C₁₂)烷基间隔基团。

7.权利要求1-6任意一项的抗反射涂料组合物，其中第一聚合物包含的芳香族羟基部分是结构(10a)或(10b)的单元，

其中，Ar是芳基部分，其中R₁、R₂和R₃独立地选自氢和(C₁-C₄)烷基，R₄是(C₁-C₁₀)烷基或(C₆-C₁₄)芳基部分，R₅是直接价键或间隔基团，R₆和R₇独立地选自氢、(C₁-C₁₀)烷基、芳基部分(C₆-C₁₄)、(C₂-C₈)羰氧基烷基和(C₂-C₈)羰基，n=1至3。