[发明专利]粘接痕迹小的可变形反射镜及该镜子的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及自适应光学系统中使用的可变形反射镜的通用领域，其应用涉及天文学、医学（尤其是眼科学）、电信学、计量学等。

本发明尤其涉及一种可变形反射镜，该可变形反射镜包括具有反射面的可变形薄膜，所述薄膜安装在一支撑件上，所述支撑件配置有至少一个用于使所述薄膜变形的驱动器，所述驱动器包括至少一个通过粘合剂接头固定在所述薄膜上的可移动部件。

本发明还涉及一种可变形反射镜的制造方法，该可变形反射镜包括具有反射面的可变形薄膜，其中，用于使所述薄膜局部变形的驱动器的可移动部件粘合固定在所述薄膜上。

背景技术

众所周知，可变形反射镜被用来矫正光束的波阵面的不规则。

为此，这种可变形反射镜配置有通常由薄膜制成的挠性的反射面，其背面与能够局部地前后移动所述薄膜的驱动器连接，该驱动器能够改变由反射到所述薄膜上的所述光束构成的不同光线经过的光学路径。因此，能够补偿波阵面变形的起点的相移。

显然，该驱动器可以采用电磁型，包括可移动的永久磁铁型的可移动部件，这些可移动部件固定在所述薄膜上并通过与支撑件一体的固定线圈遥控。

虽然它们提供了不可否认的优点，但是已知的可变形反射镜仍然具有一些缺点，显然，该缺点是由将所述驱动器的可移动部件装配至所述薄膜上而造成的。

确实，这种装配通常通过粘合剂完成，其可能在刚度、共振频率方面、以及表面状态方面局部影响所述薄膜的性能，因此降低反射镜的性能。

为了限制由于装配驱动器而对反射镜整体质量的影响，人们已经提出了通常采用相对较厚的薄膜。

然而，所述薄膜越厚，其刚度越大，所以这种方案通常会限制所述薄膜变形的能力。在这种情况下，可能需要使用相对较重和较大的驱动器。

此外，大的厚度尤其会限制所述薄膜以基本上局部的方式发生变形，以致于很难以精确而又明确区分的方式，控制所述反射面的彼此相邻的多个点的变形。因此，厚的薄膜的空间分辨率相对受到了限制。

另外，可以想到的是，在所述薄膜用来粘合驱动器的可移动部件的整个隐藏面上涂覆一层均匀的粘合剂。

然而，这种方法具有这样的缺点：增加了移动的薄膜的质量并降低了其共振频率，这损失了反射镜的反应性，并迫使其控制速度被限制。

此外，在整个薄膜上涂覆一层粘合剂可能产生一种双金属元件，其热性能可能会使所述反射镜不稳定或者出现漂移现象。

而且，发明人注意到，无论选择哪种方案，由于驱动器的安装而导致所述反射面的凸起，通过已知制造方法获得的可变形反射镜都具有表面不规则性。此外，当该反射镜被用于高精度应用时，这种现象（被称为“痕迹（footprint）”或者“透印（print-through）”），被证明是有问题的。

发明内容

因此，本发明的目的在于克服上述各种缺陷，提供一种新的可变形反射镜，该可变形反射镜的质量、精度和表面状态均有所提高。

本发明的另一目的在于，提供一种具有较简单的结构的新的可变形反射镜。

本发明的另一目的在于，提供一种新的可变形反射镜，制造和装配该可变形反射镜比制造和装配现有的可变形反射镜简单而且便宜。

本发明的另一目的在于，提供这样一种新的可变形反射镜，该可变形反射镜具有特别均一的、可再现的、精确而稳定的动作。

本发明的另一目的在于，提供一种特别结实且使用寿命长的新的可变形反射镜。

本发明的另一目的在于，提供一种可以承受特别快速的控制并具有良好的反应性的新的可变形反射镜。

本发明的另一目的在于，提供一种可变形反射镜，尤其是微镜型反射镜，其移动的部件，尤其是薄膜特别轻。

本发明的另一目的在于，提供一种可变形反射镜的制造方法，该方法特别易于实施，并可以获得高质量的、特别是具有非常好的表面状态的反射镜。

本发明的另一目的在于，提供一种新的通过粘合制造可变形反射镜的方法，该方法可以相对简单且快速地实现，并且可以减小使用的粘合剂的用量。